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移動距離
X=20mm、Y=20mm、Z=11mm、θx=22°、θy=25°、θz=38°
耐荷重
垂直:5N、水平:2.5N
外形
φ124x54mm
重量
520g
分解能 (Closed loop時)
1nm、3μrad
繰返し精度 (Closed loop時)
±50nm
型番
SmarPod CLS-32取扱企業
株式会社フィジックステクノロジーカテゴリ
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精密ステージの製品428点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 価格 (税抜) | 移動距離 | 耐荷重 | 外形 | 重量 | 分解能 (Closed loop時) | 繰返し精度 (Closed loop時) |
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要見積もり | X=20mm、Y=20mm、Z=11mm、θx=22°、θy=25°、θz=38° | 垂直:5N、水平:2.5N | φ124x54mm | 520g | 1nm、3μrad | ±50nm |
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使用用途
#半導体検査 #レーザー加工 #光学調整 #顕微観察 #微細加工 #ナノ計測 #自動位置決め #生体観察 #精密組立 #表面検査 #電子部品配置アクティブ軸
X Y Z θZ移動範囲 mm
0 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 1,000最小増分モーション µm
0 - 1 1 - 5 5 - 10最大速度 mm/s
0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 100 100 - 600駆動力 N
0 - 1 1 - 20 20 - 200許容押し力 N
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 500ドライブの種類
ステッピングモーター DCモーター ブラシレスDCモーター DCギアモーター 三相リニアモーター ピエゾモーター 三相トルクモーターガイド
クロスローラーガイド 再循環ボールベアリングガイド レバー増幅付き曲げガイド ボールガイド エアベアリング返答率
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