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返答時間
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移動角度
±5°
推力
38Ncn
耐荷重
5N
外形
50x50x17mm
回転半径
77.5mm
重量
140kg
最大速度
4°/s
分解能 (Closed loop時)
2μ° (Sセンサ) 、8μ° (Lセンサ)
繰返し精度 (Closed loop時)
±100μ
型番
CGO-77.5取扱企業
株式会社フィジックステクノロジーカテゴリ
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精密ステージの製品443点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 移動角度 | 推力 | 耐荷重 | 外形 | 回転半径 | 重量 | 最大速度 | 分解能 (Closed loop時) | 繰返し精度 (Closed loop時) |
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要見積もり | ±5° | 38Ncn | 5N | 50x50x17mm | 77.5mm | 140kg | 4°/s | 2μ° (Sセンサ) 、8μ° (Lセンサ) | ±100μ |
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精密ステージ精密ステージをフィルターから探すことができます
使用用途
#半導体検査 #レーザー加工 #光学調整 #顕微観察 #微細加工 #ナノ計測 #自動位置決め #生体観察 #精密組立 #表面検査 #電子部品配置駆動方式
手動型 電動型 空圧型軸構成
単軸型 二軸型 三軸型 回転型ガイド方式
クロスローラ型 ボールリニア型 エアーベアリング型 マグレブ型精度特性
高精度型 長ストローク型 高剛性型アクティブ軸
X Y Z θZ移動範囲 mm
0 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 1,000最小増分モーション µm
0 - 1 1 - 5 5 - 10最大速度 mm/s
0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 100 100 - 600駆動力 N
0 - 1 1 - 20 20 - 200許容押し力 N
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 500ドライブの種類
ステッピングモーター DCモーター ブラシレスDCモーター DCギアモーター 三相リニアモーター ピエゾモーター 三相トルクモーターガイド
クロスローラーガイド 再循環ボールベアリングガイド レバー増幅付き曲げガイド ボールガイド エアベアリング返答率
100.0%
返答時間
134.9時間
