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セラミックス製品 高耐食性、物理特性 常圧焼結SiCセラミックスCERASIC🄬-株式会社渡辺商行

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この製品について

優れた耐食性と物理特性がラインの信頼性を築きます。

■基本情報

クアーズテック株式会社のCERASIC🄬 常圧焼結SiCセラミックスは高温強度を必要とする場合はもちろん、耐摩耗・耐食性を要求される機械部品に最適な材料です。また、半導体及びFPD製造用部材としても様々な用途開発が進められています。高純度品としてCVD被膜を施した製品の供給も可能です。

■特徴

・高強度 ・高耐摩耗性 ・高耐食性

■主な用途

・シリコンウェーハ用部材 (フォーク、ラッププレート、ステージ部材、サセプター、チャック、ミラー) ・FPD製造用部材 (大型チャック、スライダー)

  • 型番

    CERASIC🄬

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セラミックス製品 高耐食性、物理特性 常圧焼結SiCセラミックスCERASIC🄬 CERASIC🄬の性能表

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使用用途

#ウエハ製造 #フォトリソグラフィー #エッチング #薄膜形成 #ドーピング #CMP研磨 #半導体製造 #精密機器製造

厚さ μm

150 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600 600 - 1,200 1,200 - 1,400

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会社概要

株式会社渡辺商行は、輸出入の専門商社として1930年に創業しました。 その後、好不況の波を受けにくい体制を目指し、モノづくり商社として 1969年 トムコ設立、1971年 ワコム製作所設立、2008年 天谷製作所をグルー...

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  • 本社所在地: 東京都

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