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返答率
100.0%
返答時間
6.0時間
光源
Violet-LD
検出/走査方式
螺旋走査方式
検出感度
Bare 80nm
再現性
σ/X ≦1% (99%以上)
ウェーハサイズ
50mm~200mm
測定対象
Bareウェーハ/膜付きウェーハ
大きさ (mm)
860 (W) ×900 (D) ×1,650 (H)
質量 (kg)
600
型番
パーティクルカウンターシリーズ
ウエハー表面 パーティクルカウンター取扱企業
株式会社メディア研究所カテゴリ
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返答率96%
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 光源 | 検出/走査方式 | 検出感度 | 再現性 | ウェーハサイズ | 測定対象 | 大きさ (mm) | 質量 (kg) |
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要見積もり | Violet-LD | 螺旋走査方式 | Bare 80nm | σ/X ≦1% (99%以上) | 50mm~200mm | Bareウェーハ/膜付きウェーハ | 860 (W) ×900 (D) ×1,650 (H) | 600 |
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