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8インチ SiCウェーハ
オフ角度
4°±0.5°
グレード、マイクロパイプ数
プライム、≤1cm-2 プロダクション、≤5cm-2 ダミー、≤5cm-2
厚さ
500±25μm
表面加工仕上げ
Si面：CMP仕上げ C面：光学鏡面仕上げ (ミラー)
型番
4H-Nシリーズ
8インチ4H-N SiCウェーハ取扱企業
株式会社豊港カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | オフ角度 | グレード、マイクロパイプ数 | 厚さ | 表面加工仕上げ |
|---|---|---|---|---|---|
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要見積もり | 4°±0.5° |
プライム、≤1cm-2 プロダクション、≤5cm-2 ダミー、≤5cm-2 |
500±25μm |
Si面：CMP仕上げ C面：光学鏡面仕上げ (ミラー) |
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直径 mm
5 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 600厚さ um
0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600 600 - 700 700 - 800 800 - 1,200 1,200 - 2,000抵抗率 Ω・cm
0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 10,000結晶方位 度
100 - 101 101 - 112 112 - 211導電型
N/P N P成長方法
CZ MCZ FZ NTDFZ GDFZパーティクルサイズ μm
0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 110
