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FZくさび形ステージ (FZ080) は、くさび形機構による精密な垂直移動ステージです。80mmの正方形のステージは、直線移動するために精密なクロスローラーを利用しており、垂直方向に10mmの移動が可能です。 くさび形機構は、高精度の光学位置センサーを使用して、垂直変位をエンコードしています。そのため、任意の方向からのアクセスを提供できます。
エンコーダー分解能
絶対精度 (誤差マップ提供可)
各モードの最小送り量 (エンコーダと制御に依存)
負荷慣性容量
ステージプレート素材
アルミニウム-黒アルマイト
ベアリングタイプ
精密クロスローラベアリング、ローラ移動・滑り防止機能付
エンコーダ
ゴールドテープスケールの光学式リニアエンコーダ
ケーブル⾧
3m
MTBF (平均故障時間)
30,000Hr
RoHS
適合
真空対応オプション
高真空 (HV) 1.4×10-5Pa (10-7 Torr) まで 超高真空 (UHV) 1.4×10-8Pa (10-10 Torr) まで
許容荷重-水平
2.7kg
許容荷重-垂直
0.4kg
可動慣性質量
0.102gr-m²
型番
FBZ085010取扱企業
株式会社工苑カテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | ステージプレート素材 | モータ | ベアリングタイプ | エンコーダ | ケーブル⾧ | MTBF (平均故障時間) | ステージ質量 | 可動質量 | RoHS | 真空対応オプション | 移動範囲 (mm) | エンコーダー分解能 | 双方向繰り返し精度 | 絶対精度 (誤差マップ提供可) | 各モードの最小送り量 (エンコーダと制御に依存) | 最大速度 | 真直度と平坦度 | ピッチ&ヨー | 動的失速力 | 剛性 | 許容荷重 | 静的保持力 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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要見積もり | アルミニウム-黒アルマイト | HR8モータ (ピエゾ超音波定在波モータ) | 精密クロスローラベアリング、ローラ移動・滑り防止機能付 | ゴールドテープスケールの光学式リニアエンコーダ | 3m | 30,000Hr | 1300g | 310g | 適合 |
高真空 (HV) 1.4×10-5Pa (10-7 Torr) まで 超高真空 (UHV) 1.4×10-8Pa (10-10 Torr) まで |
10mm | 標準 10nm | 標準 0.1μm | 標準 3μm |
ACモード100nm UHRモード5nm DCモード<1nm |
50mm /秒 | ±2μm | ±30μrad | 160N | 57N / μm | 5kg | 150N |
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