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電動XYステージ
200mm：最大275mmx200mmまで移動、分解能：0.5㎛/300 mm：最大400mmx300mmまで移動、分解能：0.5㎛<再現性：<1㎛
電動フォーカスステージ
Z移動距離：9mm、直上光学系
電動角度レンジ
19度と+19度、-38度と+38度、角度再現性：<0.5度
電動Zステージ
Z移動距離：27mm、分解能：0.08㎛、再現性：<1㎛
Zスキャナ
Zスキャナレンジ:15 ㎛ (ラージモード) 、2㎛ (スモールモード) /Zスキャナ分解能:0.016nm (ラージモード) 、0.002nm (スモールモード) ほか
COGNEXパターン認識
パターンアライン分解能1/4ピクセル
XYスキャナ
クローズドループ制御付きシングルモジュールのフレクチャー式XYスキャナ、100µm×100µm (ラージモード) 、50µm×50µm (ミディアムモード) 、10µm×10µm (スモールモード)
XYスキャナ分解能
0.28nm (ラージモード) 、0.03nm (スモールモード)
設備条件 室温 (待機時)
10℃~40℃
設備条件 室温 (稼働時)
18℃~24℃
設備条件 湿度
30％~60％ (コンデンシングしない場合)
設備条件 床振動レベル
VC-D (6μm/秒)
設備条件 音響ノイズ
65dB以下
設備条件 排気系
真空 : -80kPa、CDA (またはN2) : 0.7MPa
設備条件 電源
208V-240V、単相、15A (最大)
設備条件 総合消費電力
2KW (公称)
設備条件 グラウンド抵抗
100オーム以下
200mmシステム
1,500mm (幅) ×980mm (奥) x2,050mm (高) 、EFEMなし、約1,020 kg (制御キャビネット付き) ほか
200mmシステム 天井高
2,500mm以上
200mmシステム 作業スペース
3,300mm (幅) x2,300mm (奥) , 最小
300mmシステム
1,840mm (幅) ×1,170mm (奥) x2,050mm (高) 、EFEMなし、約1,320 kg (制御キャビネット付き) ほか
300mmシステム 天井高
2,500mm以上
300mmシステム 作業スペース
4,540mm (幅) x2,850mm (奥) , 最小
型番
NX-3DM取扱企業
パーク・システムズ・ジャパン株式会社カテゴリ
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走査型プローブ顕微鏡 (SPM)の製品58点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 電動XYステージ | 電動フォーカスステージ | 電動角度レンジ | 電動Zステージ | Zスキャナ | COGNEXパターン認識 | XYスキャナ | XYスキャナ分解能 | 設備条件 室温 (待機時) | 設備条件 室温 (稼働時) | 設備条件 湿度 | 設備条件 床振動レベル | 設備条件 音響ノイズ | 設備条件 排気系 | 設備条件 電源 | 設備条件 総合消費電力 | 設備条件 グラウンド抵抗 | 200mmシステム | 200mmシステム 天井高 | 200mmシステム 作業スペース | 300mmシステム | 300mmシステム 天井高 | 300mmシステム 作業スペース |
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要見積もり | 200mm：最大275mmx200mmまで移動、分解能：0.5㎛/300 mm：最大400mmx300mmまで移動、分解能：0.5㎛<再現性：<1㎛ | Z移動距離：9mm、直上光学系 | 19度と+19度、-38度と+38度、角度再現性：<0.5度 | Z移動距離：27mm、分解能：0.08㎛、再現性：<1㎛ | Zスキャナレンジ:15 ㎛ (ラージモード) 、2㎛ (スモールモード) /Zスキャナ分解能:0.016nm (ラージモード) 、0.002nm (スモールモード) ほか | パターンアライン分解能1/4ピクセル | クローズドループ制御付きシングルモジュールのフレクチャー式XYスキャナ、100µm×100µm (ラージモード) 、50µm×50µm (ミディアムモード) 、10µm×10µm (スモールモード) | 0.28nm (ラージモード) 、0.03nm (スモールモード) | 10℃~40℃ | 18℃~24℃ | 30％~60％ (コンデンシングしない場合) | VC-D (6μm/秒) | 65dB以下 | 真空 : -80kPa、CDA (またはN2) : 0.7MPa | 208V-240V、単相、15A (最大) | 2KW (公称) | 100オーム以下 | 1,500mm (幅) ×980mm (奥) x2,050mm (高) 、EFEMなし、約1,020 kg (制御キャビネット付き) ほか | 2,500mm以上 | 3,300mm (幅) x2,300mm (奥) , 最小 | 1,840mm (幅) ×1,170mm (奥) x2,050mm (高) 、EFEMなし、約1,320 kg (制御キャビネット付き) ほか | 2,500mm以上 | 4,540mm (幅) x2,850mm (奥) , 最小 |
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使用用途が材料評価の製品
走査型プローブ顕微鏡 (SPM)をフィルターから探すことができます
使用用途
#ラマン測定 #材料評価 #電気特性測定 #ダイナミクス測定 #表面形状観察 #欠陥評価 #研究開発 #非破壊測定 #ケミカルイメージング #マッピングXYスキャナレンジ µm
10 - 70 70 - 100 100 - 120Zスキャナレンジ μm
1 - 5 5 - 15 15 - 30分解能 nm
0 - 1 1 - 100真空度 nPa
0 - 100 100 - 50,000到達温度 K
0 - 1 1 - 6 6 - 101振動ノイズ μm/s
0 - 1 1 - 7XYステージ駆動範囲 mm
-12 - 0 0 - 20 20 - 200 200 - 300 300 - 400Zステージ駆動範囲 mm
-12 - 0 0 - 20 20 - 200返答率
100.0%
返答時間
26.4時間
![走査型プローブ顕微鏡 (SPM) AFM-IR 装置 AFM-IR PiFM ナノスケール赤外分光イメージング装置[光誘起力顕微鏡]-株式会社日本レーザー](https://metoree.s3.ap-northeast-1.amazonaws.com/img/products-new/30024292024050560.png)
