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溶解性データ (25℃) 酢酸エチル

溶解性データ (25℃) MEK

溶解性データ (25℃) PGM-Ac

溶解性データ (25℃) エタノール

溶解性データ (25℃) THF

全型番で同じ値の指標

ステージ

試作設備生産品

溶解性データ (25℃) トルエン

10%未満

この製品について

■特徴

密着性が良好であり、且つ剛性を有したモノマー ※溶解性 ・HQMAは、水:不溶、溶媒:トルエン、アセトン、メタノールに可溶 ・HMAdは、水:不溶、溶媒:アルコール系に可溶

  • 型番

    HQMA

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半導体用材料 フェノール性水酸基を有するモノマー HQMAの性能表

商品画像 価格 (税抜) 分子量 化審法 安衛法 融点/凝固点 ステージ 溶解性データ (25℃) トルエン 溶解性データ (25℃) 酢酸エチル 溶解性データ (25℃) MEK 溶解性データ (25℃) PGM-Ac 溶解性データ (25℃) エタノール 溶解性データ (25℃) THF
要見積もり 178.2 少量新規 4- (7) -2141 118.5-
120.0℃
試作設備生産品 10%未満 20~5% 25~30% 15~20% 25~30% 50~55%

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使用用途

#ウエハ製造 #フォトリソグラフィー #エッチング #薄膜形成 #ドーピング #CMP研磨 #半導体製造 #精密機器製造

厚さ μm

150 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600 600 - 1,200 1,200 - 1,400

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