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安衛法

登録済

Ames試験

陰性

ステージ

量産設備生産品

この製品について

■特徴

耐候性・耐熱性が良好であり、且つ剛性・酸解離性を有したモノマー ※溶解性 ・MADAは、水:不溶、溶媒:アルコール、エーテルに易溶 ・MADMAは、水:難溶、溶媒:アルコール、エーテルに易溶 ・EtADA、EAMA (P) は、水:微溶、溶媒:アルコール、エーテルに易溶

  • 型番

    MADA

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半導体用材料 アダマンチル系モノマー MADAの性能表

商品画像 価格 (税抜) 構造式 分子量 化審法 安衛法 引火点 (開放式) Ames試験 ステージ
要見積もり CAS No.:249562-06-9 220.31 少量新規 登録済 130 陰性 量産設備生産品

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使用用途

#ウエハ製造 #フォトリソグラフィー #エッチング #薄膜形成 #ドーピング #CMP研磨 #半導体製造 #精密機器製造

厚さ μm

150 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600 600 - 1,200 1,200 - 1,400

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