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パターンウエハのメタル膜厚・組成評価用、高速XRR & XRF測定装置 Sirius RF-T-ブルカージャパン株式会社

Sirius RF | パターンウエハのメタル膜厚・組成評価用、高速XRR & XRF測定装置 Sirius RF-T
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■パターンウェハのメタル膜厚・組成評価用高速XRP&XRF測定

Bruker Sirius RF-Tは既に世界の多くのファブでご使用頂いておりますJVX 7300RF-Tの後継機種で、微小スポットXRFと特許取得した高速・微小XRRを組み合わせたマルチチャンネル計測プラットフォームです。パターン認識を組み合わせることで微小パッドやスクライブライン上での測定が可能です。 XRFでは検量線を用いた膜厚測定と検量線を用いた組成分析を行うことができ、非常に薄い膜から1μm程度の厚膜まで幅広いレンジの膜厚測定を行うことが可能です。XRRでは絶対膜厚測定を行うことができ、独自の光学系により測定は一点あたり、数秒で完了することができます。高度な自動安定化機構により検量線の引き直しなどのユーザーの負荷は最低限となるよう設計されています。

  • 型番

    Sirius RF

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測定原理

波長分散型 エネルギー分散型 回折型 蛍光型

分析対象

元素分析型 結晶構造解析型

測定対象形状

バルク対応型 微小領域対応型

装置構成

卓上型 据置型

検出器

FPD HPC検出器 シリコンドリフト検出器

測定可能なq範囲 nm-1

0 - 30 30 - 50

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ブルカージャパン株式会社は、高性能科学機器や、分析・診断ソリューションの開発・製造・販売を行っている企業です。 本社所在地は神奈川県横浜市であり、1975年に設立されました。 化学、生物、工業材料の試料に対する分析装置...

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