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～300mmウエハ用高可搬モデル：高可搬搬送と広範囲動作が可能な標準ロボット ■特長 ・サーボアンプを内蔵し、高速電力線通信技術利用により、ロボット本体内配線数及び外配ケーブル本数を大幅に削減。 ・高可搬搬送 (ハンドフォルダ、ハンド、搬送ワークの総質量4kg) を可能としたため、反転軸搭載が可能。テープフレーム付きウェハ搬送、貼り合わせウェハ搬送、レチクル搬送が可能。 ・ワーク把持は、真空吸着方式に加え、圧空を使用したエッジクランプ方式とベルヌーイ方式に対応可能。 ・ベルヌーイハンドは、TAIKOウェハ外周裏面部の接触把持に対応予定。
クリーン度
ロボット形状
動作範囲 Z-axis
最大動作速度 X1, X2-axis
最大動作速度 Z-axis
動作時間 X1, X2-axis
動作時間 Z-axis
繰返し位置精度 XY direction
設置環境 温度
繰返し位置精度 Z direction
型番
UT-AFW4000NM取扱企業
株式会社ダイヘンカテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 分類 | 本体質量 | クリーン度 | ロボット形状 | 動作範囲 X1, X2-axis | 動作範囲 θ-axis | 動作範囲 Z-axis | 動作範囲 R-axis | 最大動作速度 X1, X2-axis | 最大動作速度 θ-axis | 最大動作速度 Z-axis | 最大動作速度 R-axis | 動作時間 X1, X2-axis | 動作時間 θ-axis | 動作時間 Z-axis | 繰返し位置精度 XY direction | 繰返し位置精度 Z direction | 設置環境 温度 | 設置環境 湿度 | 必要諸源 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
要見積もり | High Payload Type | 4kg/8N･m |
クランプ仕様：ISO Class 3 (ISO-14644) 吸着仕様：ISO Class 1 (ISO14644) |
4軸円筒座標型：4axis Cylindrical Coordinate | 500mm | 340° | 300mm or 450mm | 182° | 800mm/sec. | 200°/sec. | 250mm/sec. | 180°/sec. | 1.7sec./500mm | 2.2sec./340° | 2.2sec./450mm | 1.7sec./180° | XYZ±0.1mm, R±0.1° | 0-40℃ | 70% or less, No condensation | 0.4-0.7MPa, 200L/min |
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最大搭載重量 kg
0 - 10 10 - 50 50 - 150 150 - 1,300本体重量 kg
10 - 40 40 - 60 60 - 80 80 - 100 100 - 200 200 - 300走行速度 m/s
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 1.5 1.5 - 2バッテリー駆動時間 時間
0 - 5 5 - 10 10 - 15 15 - 20 20 - 30充電時間 時間
3 - 4 4 - 5トレイ数 個
0 - 3 3 - 4 4 - 5 5 - 7連続稼働時間 時間
0 - 5 5 - 10 10 - 15 15 - 30必要通路幅 cm
50 - 75 75 - 100 100 - 120 120 - 140
