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ロボット・制御装置 多様なニーズに応える最先端のラインアップ ウェハ搬送ロボット-株式会社ダイヘン

株式会社ダイヘンの対応状況

返答率

100.0%

返答時間

158.1時間

型番説明

~300mmウエハ用高可搬モデル:高可搬搬送と広範囲動作が可能な標準ロボット ■特長 ・サーボアンプを内蔵し、高速電力線通信技術利用により、ロボット本体内配線数及び外配ケーブル本数を大幅に削減。 ・高可搬搬送 (ハンドフォルダ、ハンド、搬送ワークの総質量4kg) を可能としたため、反転軸搭載が可能。テープフレーム付きウェハ搬送、貼り合わせウェハ搬送、レチクル搬送が可能。 ・ワーク把持は、真空吸着方式に加え、圧空を使用したエッジクランプ方式とベルヌーイ方式に対応可能。 ・ベルヌーイハンドは、TAIKOウェハ外周裏面部の接触把持に対応予定。

繰返し位置精度 Z direction

全型番で同じ値の指標

構造

垂直多関節形

軸数

6

動作範囲 R-axis

182°

最大動作速度 R-axis

180°/sec.

この製品について

コンパクトなスペースで、より高効率で、高品質な溶接を。シンプル&スリムアームのスタンダード機から、溶接の常識を覆す最先端の7軸ロボットまで。幅広いラインアップで、お客様の多様なニーズに応えます。 ※他にも品番がございます。

  • 型番

    UT-AFW4000NM

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最新の閲覧: 26分前


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ロボット・制御装置 多様なニーズに応える最先端のラインアップ ウェハ搬送ロボット UT-AFW4000NMの性能表

商品画像 価格 (税抜) 分類 本体質量 クリーン度 ロボット形状 動作範囲 X1, X2-axis 動作範囲 θ-axis 動作範囲 Z-axis 動作範囲 R-axis 最大動作速度 X1, X2-axis 最大動作速度 θ-axis 最大動作速度 Z-axis 最大動作速度 R-axis 動作時間 X1, X2-axis 動作時間 θ-axis 動作時間 Z-axis 繰返し位置精度 XY direction 繰返し位置精度 Z direction 設置環境 温度 設置環境 湿度 必要諸源
ロボット・制御装置 多様なニーズに応える最先端のラインアップ ウェハ搬送ロボット-品番-UT-AFW4000NM 要見積もり High Payload Type 4kg/8N・m クランプ仕様:ISO Class 3 (ISO-14644)
吸着仕様:ISO Class 1 (ISO14644)
4軸円筒座標型:4axis Cylindrical Coordinate 500mm 340° 300mm or 450mm 182° 800mm/sec. 200°/sec. 250mm/sec. 180°/sec. 1.7sec./500mm 2.2sec./340° 2.2sec./450mm 1.7sec./180° XYZ±0.1mm, R±0.1° 0-40℃ 70% or less, No condensation 0.4-0.7MPa, 200L/min

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最大搭載重量 kg

0 - 10 10 - 50 50 - 150 150 - 1,300

本体重量 kg

10 - 40 40 - 60 60 - 80 80 - 100 100 - 200 200 - 300

走行速度 m/s

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 1.5 1.5 - 2

バッテリー駆動時間 時間

0 - 5 5 - 10 10 - 15 15 - 20 20 - 30

充電時間 時間

3 - 4 4 - 5

トレイ数 個

0 - 3 3 - 4 4 - 5 5 - 7

連続稼働時間 時間

0 - 5 5 - 10 10 - 15 15 - 30

必要通路幅 cm

50 - 75 75 - 100 100 - 120 120 - 140

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

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返答時間

158.1時間

会社概要

株式会社ダイヘンは、変圧器や溶接機、産業用ロボット、半導体製造装置用高周波電源など産業用製品の開発を手掛けるメーカーです。 1919年に創立し、1961年には東証一部に上場、国内外に多くの拠点を持ちます。 近年では再生可...

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  • 本社所在地: 大阪府
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