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～300mmウエハ用：世界最速級 (650WPH) の真空内高速搬送により、装置スループットの大幅な向上に貢献する高速・低振動ダブルアーム真空ロボット ■特長 ・世界最速級 (650WPH) の真空内高速搬送を実現 ・ダイレクトドライブモータ搭載により、アーム動作時の振動を大幅に低減 ・アーム部にスチールベルトを採用し軌跡精度と位置決め精度の向上 ・ハンド上に高摩擦パッドを採用しウエハ搬送ずれ防止 ・ウエハセンター位置ずれ補正機能付き
クリーン度
ロボット形状
動作範囲 Z-axis
最大動作速度 X1, X2-axis
最大動作速度 Z-axis
動作時間 X1, X2-axis
動作時間 Z-axis
繰返し位置精度 XY direction
設置環境 温度
繰返し位置精度 Z direction
型番
UT-VDW3000HS取扱企業
株式会社ダイヘンカテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 本体質量 | クリーン度 | ロボット形状 | 動作範囲 X1, X2-axis | 動作範囲 θ-axis | 動作範囲 Z-axis | 最大動作速度 X1, X2-axis | 最大動作速度 θ-axis | 最大動作速度 Z-axis | 動作時間 X1, X2-axis | 動作時間 θ-axis | 動作時間 Z-axis | 繰返し位置精度 XY direction | 可搬質量 | 設置環境 温度 | 設置環境 湿度 | 設置環境 圧力 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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要見積もり | 160kg | ISO Class 1 | 4軸円筒座標型: 4 axis Cylindrical Coordinate | 620mm | 346° | 50mm | 380°/sec. | 300°/sec. | 185mm/sec. | 0.6sec./620mm | 0.7sec./90° | 0.25sec./20mm | XYZ direction: ±0.1mm each (3σ) | 2kg | 5-40℃ (本体) /5-80℃ (アーム表面) | 20-70%, No condensation | Atmospheric pressure ~ 10-6Pa |
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最大搭載重量 kg
0 - 10 10 - 50 50 - 150 150 - 1,300本体重量 kg
10 - 40 40 - 60 60 - 80 80 - 100 100 - 200 200 - 300走行速度 m/s
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 1.5 1.5 - 2バッテリー駆動時間 時間
0 - 5 5 - 10 10 - 15 15 - 20 20 - 30充電時間 時間
3 - 4 4 - 5トレイ数 個
0 - 3 3 - 4 4 - 5 5 - 7連続稼働時間 時間
0 - 5 5 - 10 10 - 15 15 - 30必要通路幅 cm
50 - 75 75 - 100 100 - 120 120 - 140
