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返答時間
20.2時間
アクティブ軸
X、Y
移動範囲
305×305mm
統合センサー
インクリメンタルリニアエンコーダ
設計解像度
0.001μm
センサー信号
Sin/cos、1Vピーク-ピーク、20μm信号周期
最小増分動作
0.02μm
一方向の再現性
0.1μm
双方向再現性
±0.25μm
角度誤差 xry (ピッチ)
±70μrad
角度誤差 xrz (ヨー)
±50μrad
角度誤差 yrx (ピッチ)
±60μrad
角度誤差 yrz (ヨー)
±50μrad
直交性
±96.963μrad
真直度・平面度
±3μm
速度
200mm/s
無負荷時のX方向の加速度
3m/s²
Y方向の加速度、無負荷
9m/s²
リファレンススイッチとリミットスイッチ
二股光電センサー N/C接点 5V NPN
負荷容量
50N
許容トルク θX、θY
125Nm
θZの許容トルク
125Nm
ガイド
アンチクリープシステム付きクロスローラーガイド
モーターの種類
鉄筋レス三相リニアモーター
動作電圧、公称
48V
動作電圧、最大
48V
ピークフォース
80N
公称力
29N
ピーク電流、RMS
5a
公称電流、RMS
1.5a
力定数、RMS
19.9
型番
V-741.136111取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社カテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | 移動範囲 | 統合センサー | 設計解像度 | センサー信号 | 最小増分動作 | 一方向の再現性 | 双方向再現性 | 角度誤差 xry (ピッチ) | 角度誤差 xrz (ヨー) | 角度誤差 yrx (ピッチ) | 角度誤差 yrz (ヨー) | 直交性 | 真直度・平面度 | 速度 | 無負荷時のX方向の加速度 | Y方向の加速度、無負荷 | リファレンススイッチとリミットスイッチ | 負荷容量 | 許容トルク θX、θY | θZの許容トルク | ガイド | モーターの種類 | 動作電圧、公称 | 動作電圧、最大 | ピークフォース | 公称力 | ピーク電流、RMS | 公称電流、RMS | 力定数、RMS |
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要見積もり | X、Y | 305×305mm | インクリメンタルリニアエンコーダ | 0.001μm | Sin/cos、1Vピーク-ピーク、20μm信号周期 | 0.02μm | 0.1μm | ±0.25μm | ±70μrad | ±50μrad | ±60μrad | ±50μrad | ±96.963μrad | ±3μm | 200mm/s | 3m/s² | 9m/s² | 二股光電センサー N/C接点 5V NPN | 50N | 125Nm | 125Nm | アンチクリープシステム付きクロスローラーガイド | 鉄筋レス三相リニアモーター | 48V | 48V | 80N | 29N | 5a | 1.5a | 19.9 |
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使用用途
#半導体検査 #レーザー加工 #光学調整 #顕微観察 #微細加工 #ナノ計測 #自動位置決め #生体観察 #精密組立 #表面検査 #電子部品配置駆動方式
手動型 電動型 空圧型軸構成
単軸型 二軸型 三軸型 回転型ガイド方式
クロスローラ型 ボールリニア型 エアーベアリング型 マグレブ型精度特性
高精度型 長ストローク型 高剛性型アクティブ軸
X Y Z θZ移動範囲 mm
0 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 1,000最小増分モーション µm
0 - 1 1 - 5 5 - 10最大速度 mm/s
0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 100 100 - 600駆動力 N
0 - 1 1 - 20 20 - 200許容押し力 N
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 500ドライブの種類
ステッピングモーター DCモーター ブラシレスDCモーター DCギアモーター 三相リニアモーター ピエゾモーター 三相トルクモーターガイド
クロスローラーガイド 再循環ボールベアリングガイド レバー増幅付き曲げガイド ボールガイド エアベアリング