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P-734 高精度XY軸ピエゾステージ 開口付-ピーアイ・ジャパン株式会社

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アクティブ軸

XY

X方向の移動範囲

100μm

Y方向の移動範囲

100μm

X方向の移動範囲、開ループ、-20~120V

110μm

Y方向の移動範囲、開ループ、-20~+120V

110μm

Xの直線性誤差

0.03%

Yの直線性誤差

0.03%

平坦性 (X方向の動きを伴うZ方向の線形クロストーク)

±5nm

平坦性 (Y方向の動きを伴うZ方向の線形クロストーク)

±5nm

ピッチ (Y方向の動きによるθX方向の回転クロストーク)

±3μrad

ピッチ (X方向の動きによるθY方向の回転クロストーク)

±3μrad

ヨー (X方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク)

±10μrad

ヨー (Y方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク)

±10μrad

統合センサー

静電容量式の直接位置測定

Xでのシステム解像度

0.3nm

Y単位のシステム解像度

0.3nm

X方向の解像度、開ループ

0.2nm

Y方向の解像度、開ループ

0.2nm

ドライブタイプ

ピクマ®

Xの電気容量

6.2μF

Y方向の電気容量

6.2μF

ガイド

レバー増幅機能付きたわみガイド

X方向の剛性

3N/μm

Y方向の剛性

3N/μm

X方向の共振周波数、無負荷

500Hz

200gの荷重下でのXの共振周波数

350Hz

Xの共振周波数、500gの荷重下

250Hz

Y方向の共振周波数、無負荷

500Hz

Y方向の共振周波数、200gの荷重下

350Hz

Y方向の共振周波数、500gの荷重下

250Hz

この製品について

■特徴

・平坦度5nm、表面分析および走査型顕微鏡に最適 ・平行運動学による応答時間の短縮と多軸精度の向上 ・移動範囲100μm×100μm ・有効口径56mm×56mm ・容量性位置センサーによる分解能0.3nm

■応用分野

・走査型顕微鏡検査 ・共焦点顕微鏡 ・マスク/ウェハの位置決め ・表面測定技術 ・ナノインプリンティング ・マイクロマニピュレーション ・画像処理・安定化 ・高い平坦性と動作の直進性を備えたナノポジショニング

■PICMA®ピエゾアクチュエータによる優れた寿命

・特許取得済みのPICMA®ピエゾアクチュエータはすべてセラミックで絶縁されています。これにより、湿気や漏れ電流の増加による故障から保護されます。 ・PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を実現します。 ・1,000億回のサイクルで一度も故障がないことが証明されています。

■静電容量センサーによるサブナノメートルの解像度

静電容量センサーは、非接触でサブナノメートルの分解能で測定します。これらは、動作の優れた直線性、長期安定性、および kHz 範囲の帯域幅を保証します。

■ゼロプレイたわみガイドによる高いガイド精度

・たわみガイドにはメンテナンス、摩擦、磨耗がなく、潤滑剤も必要ありません。 ・剛性が高いため、高い耐荷重が可能であり、衝撃や振動に対して鈍感です。 ・広い温度範囲で動作します。

■自動構成と迅速なコンポーネント交換

・メカとコントローラーを必要に応じて組み合わせ、素早く交換できます。 ・すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのD-subコネクタのIDチップに保存されます。 ・デジタルコントローラの自動校正機能は、コントローラの電源がオンになるたびにこのデータを使用します。

■直接位置測定による最高の精度

動作は、駆動要素やガイド要素の影響を受けることなく、動作プラットフォームで直接測定されます。このため、最適な再現性、卓越した安定性、堅固で高速応答の制御が可能になります。

  • 型番

    P-734.2CL

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P-734 高精度XY軸ピエゾステージ 開口付 P-734.2CLの性能表

商品画像 価格 (税抜) アクティブ軸 X方向の移動範囲 Y方向の移動範囲 X方向の移動範囲、開ループ、-20~120V Y方向の移動範囲、開ループ、-20~+120V Xの直線性誤差 Yの直線性誤差 平坦性 (X方向の動きを伴うZ方向の線形クロストーク) 平坦性 (Y方向の動きを伴うZ方向の線形クロストーク) ピッチ (Y方向の動きによるθX方向の回転クロストーク) ピッチ (X方向の動きによるθY方向の回転クロストーク) ヨー (X方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク) ヨー (Y方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク) 統合センサー Xでのシステム解像度 Y単位のシステム解像度 X方向の解像度、開ループ Y方向の解像度、開ループ ドライブタイプ Xの電気容量 Y方向の電気容量 ガイド X方向の剛性 Y方向の剛性 X方向の共振周波数、無負荷 200gの荷重下でのXの共振周波数 Xの共振周波数、500gの荷重下 Y方向の共振周波数、無負荷 Y方向の共振周波数、200gの荷重下 Y方向の共振周波数、500gの荷重下
P-734 高精度XY軸ピエゾステージ 開口付-品番-P-734.2CL 要見積もり XY 100μm 100μm 110μm 110μm 0.03% 0.03% ±5nm ±5nm ±3μrad ±3μrad ±10μrad ±10μrad 静電容量式の直接位置測定 0.3nm 0.3nm 0.2nm 0.2nm ピクマ® 6.2μF 6.2μF レバー増幅機能付きたわみガイド 3N/μm 3N/μm 500Hz 350Hz 250Hz 500Hz 350Hz 250Hz

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ドライブの種類

PICMA PILine

移動範囲 µm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000

分解能 nm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11

共振周波数 Hz

0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000

剛性 N/μm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

双方向再現性 nm

0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20

直線性誤差 %

0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5

電気容量 µF

0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50

回転クロストーク µrad

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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