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アパーチャ付き高精度XYスキャナ P-733.2 XYピエゾナノポジショナー-ピーアイ・ジャパン株式会社

ピーアイ・ジャパン株式会社の対応状況

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X方向の移動範囲

Y方向の移動範囲

X方向の移動範囲、開ループ、-20~120V

Y方向の移動範囲、開ループ、-20~+120V

ピッチ (Y方向の動きによるθX方向の回転クロストーク)

ピッチ (X方向の動きによるθY方向の回転クロストーク)

X方向の解像度、開ループ

Y方向の解像度、開ループ

Xでのシステム解像度

Y単位のシステム解像度

Xの電気容量

Y方向の電気容量

X方向の剛性

Y方向の剛性

X方向の共振周波数、無負荷

200gの荷重下でのXの共振周波数

Y方向の共振周波数、無負荷

Y方向の共振周波数、200gの荷重下

全型番で同じ値の指標

アクティブ軸

XY

Xの直線性誤差

0.03%

Yの直線性誤差

0.03%

ヨー (X方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク)

±10μrad

ヨー (Y方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク)

±10μrad

Xにおける再現性

< 2nm

Y方向の再現性

< 2nm

統合センサー

静電容量式の間接的な位置測定

ドライブタイプ

ピクマ®

Xの共振周波数、120gの荷重下

370Hz

Y方向の共振周波数、120gの荷重下

370Hz

X方向の許容押付け力

50N

この製品について

■特徴

・移動範囲はXおよびYで100µm×100µm ・静電容量センサーによる分解能0.1nm ・ダイレクトドライブを備えた高速バージョン ・真空対応および非磁性バージョンもご要望に応じて提供します ・より高い精度とダイナミクスを実現する平行運動学 ・ガイドエラーをアクティブに補正するための並列計測 ・遊びゼロの高精度たわみガイドシステム ・透過光アプリケーション用の有効開口50mm×50mm

■応用分野

・走査型顕微鏡検査 ・共焦点顕微鏡 ・マスク/ウェハの位置決め ・表面測定技術 ・ナノインプリンティング ・マイクロマニピュレーション ・画像処理・安定化 ・高い平坦性と動作の直進性を備えたナノポジショニング

■PICMA®ピエゾアクチュエータによる優れた寿命

・特許取得済みのPICMA®ピエゾアクチュエータはすべてセラミックで絶縁されており、湿気や漏れ電流の増加による故障から保護されます。 ・PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を実現します。

■静電容量センサーによるサブナノメートルの解像度

静電容量センサーは、非接触でサブナノメートルの分解能で測定します。これらは、動作の優れた直線性、長期安定性、およびkHz範囲の帯域幅を保証します。

■ゼロプレイたわみガイドによる高いガイド精度

・たわみガイドにはメンテナンス、摩擦、磨耗がなく、潤滑剤も必要ありません。 ・剛性が高いため、高い耐荷重が可能であり、衝撃や振動に対して鈍感です。

■自動構成と迅速なコンポーネント交換

・メカとコントローラーを必要に応じて組み合わせ、素早く交換できます。 ・すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのD-subコネクタのIDチップに保存されます。

■直接位置測定による最高の精度

・動作は、駆動要素やガイド要素の影響を受けることなく、動作プラットフォームで直接測定されます。 ・最適な再現性、卓越した安定性、堅固で高速応答の制御が可能になります。

■平行運動学による高ダイナミックな多軸動作

・パラレルキネマティック多軸システムでは、すべてのアクチュエータが共通のプラットフォーム上で動作します。 ・最小の質量慣性とすべての軸の同一設計により、高速かつダイナミックでありながら正確な動作が可能になります。

  • 型番

    P-733.2DD

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アパーチャ付き高精度XYスキャナ P-733.2 XYピエゾナノポジショナー P-733.2DDの性能表

商品画像 価格 (税抜) アクティブ軸 X方向の移動範囲 Y方向の移動範囲 X方向の移動範囲、開ループ、-20~120V Y方向の移動範囲、開ループ、-20~+120V Xの直線性誤差 Yの直線性誤差 ピッチ (Y方向の動きによるθX方向の回転クロストーク) ピッチ (X方向の動きによるθY方向の回転クロストーク) ヨー (X方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク) ヨー (Y方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク) Xにおける再現性 Y方向の再現性 X方向の解像度、開ループ Y方向の解像度、開ループ 統合センサー Xでのシステム解像度 Y単位のシステム解像度 ドライブタイプ Xの電気容量 Y方向の電気容量 X方向の剛性 Y方向の剛性 X方向の共振周波数、無負荷 200gの荷重下でのXの共振周波数 Y方向の共振周波数、無負荷 Y方向の共振周波数、200gの荷重下 X方向の許容押付け力
アパーチャ付き高精度XYスキャナ P-733.2 XYピエゾナノポジショナー-品番-P-733.2DD 要見積もり XY 30μm 30μm 33μm 33μm 0.03% 0.03% ±5μrad ±5μrad ±10μrad ±10μrad < 2nm < 2nm 0.1nm 0.1nm 静電容量式の間接的な位置測定 0.1nm 0.1nm ピクマ® 6.2μF 6.2μF 20N/μm 20N/μm 2230Hz 1550Hz 2230Hz 1550Hz 50N

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ドライブの種類

PICMA PILine

移動範囲 µm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000

分解能 nm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11

共振周波数 Hz

0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000

剛性 N/μm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

双方向再現性 nm

0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20

直線性誤差 %

0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5

電気容量 µF

0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50

回転クロストーク µrad

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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