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アクティブ軸
XY
Xの直線性誤差
0.03%
Yの直線性誤差
0.03%
ヨー (X方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク)
±10μrad
ヨー (Y方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク)
±10μrad
Xにおける再現性
< 2nm
Y方向の再現性
< 2nm
統合センサー
静電容量式の間接的な位置測定
ドライブタイプ
ピクマ®
Xの共振周波数、120gの荷重下
370Hz
Y方向の共振周波数、120gの荷重下
370Hz
X方向の許容押付け力
50N
型番
P-733.2CL取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社カテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | X方向の移動範囲 | Y方向の移動範囲 | X方向の移動範囲、開ループ、-20~120V | Y方向の移動範囲、開ループ、-20~+120V | Xの直線性誤差 | Yの直線性誤差 | ピッチ (Y方向の動きによるθX方向の回転クロストーク) | ピッチ (X方向の動きによるθY方向の回転クロストーク) | ヨー (X方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク) | ヨー (Y方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク) | Xにおける再現性 | Y方向の再現性 | X方向の解像度、開ループ | Y方向の解像度、開ループ | 統合センサー | Xでのシステム解像度 | Y単位のシステム解像度 | ドライブタイプ | Xの電気容量 | Y方向の電気容量 | X方向の剛性 | Y方向の剛性 | X方向の共振周波数、無負荷 | Xの共振周波数、120gの荷重下 | 200gの荷重下でのXの共振周波数 | Y方向の共振周波数、無負荷 | Y方向の共振周波数、120gの荷重下 | Y方向の共振周波数、200gの荷重下 | X方向の許容押付け力 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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要見積もり | XY | 100μm | 100μm | 115μm | 115μm | 0.03% | 0.03% | ±3μrad | ±3μrad | ±10μrad | ±10μrad | < 2nm | < 2nm | 0.2nm | 0.2nm | 静電容量式の間接的な位置測定 | 0.3nm | 0.3nm | ピクマ® | 6μF | 6μF | 1.5N/μm | 1.5N/μm | 500Hz | 370Hz | 340Hz | 500Hz | 370Hz | 340Hz | 50N |
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ドライブの種類
PICMA PILine移動範囲 µm
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000分解能 nm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11共振周波数 Hz
0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000剛性 N/μm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5双方向再現性 nm
0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20直線性誤差 %
0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5電気容量 µF
0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50回転クロストーク µrad
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000