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アパーチャ付き高精度XYスキャナ P-733.2 XYピエゾナノポジショナー-ピーアイ・ジャパン株式会社

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X方向の移動範囲

Y方向の移動範囲

X方向の移動範囲、開ループ、-20~120V

Y方向の移動範囲、開ループ、-20~+120V

ピッチ (Y方向の動きによるθX方向の回転クロストーク)

ピッチ (X方向の動きによるθY方向の回転クロストーク)

X方向の解像度、開ループ

Y方向の解像度、開ループ

Xでのシステム解像度

Y単位のシステム解像度

Xの電気容量

Y方向の電気容量

X方向の剛性

Y方向の剛性

X方向の共振周波数、無負荷

200gの荷重下でのXの共振周波数

Y方向の共振周波数、無負荷

Y方向の共振周波数、200gの荷重下

全型番で同じ値の指標

アクティブ軸

XY

Xの直線性誤差

0.03%

Yの直線性誤差

0.03%

ヨー (X方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク)

±10μrad

ヨー (Y方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク)

±10μrad

Xにおける再現性

< 2nm

Y方向の再現性

< 2nm

統合センサー

静電容量式の間接的な位置測定

ドライブタイプ

ピクマ®

Xの共振周波数、120gの荷重下

370Hz

Y方向の共振周波数、120gの荷重下

370Hz

X方向の許容押付け力

50N

この製品について

■特徴

・移動範囲はXおよびYで100µm×100µm ・静電容量センサーによる分解能0.1nm ・ダイレクトドライブを備えた高速バージョン ・真空対応および非磁性バージョンもご要望に応じて提供します ・より高い精度とダイナミクスを実現する平行運動学 ・ガイドエラーをアクティブに補正するための並列計測 ・遊びゼロの高精度たわみガイドシステム ・透過光アプリケーション用の有効開口50mm×50mm

■応用分野

・走査型顕微鏡検査 ・共焦点顕微鏡 ・マスク/ウェハの位置決め ・表面測定技術 ・ナノインプリンティング ・マイクロマニピュレーション ・画像処理・安定化 ・高い平坦性と動作の直進性を備えたナノポジショニング

■PICMA®ピエゾアクチュエータによる優れた寿命

・特許取得済みのPICMA®ピエゾアクチュエータはすべてセラミックで絶縁されており、湿気や漏れ電流の増加による故障から保護されます。 ・PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を実現します。

■静電容量センサーによるサブナノメートルの解像度

静電容量センサーは、非接触でサブナノメートルの分解能で測定します。これらは、動作の優れた直線性、長期安定性、およびkHz範囲の帯域幅を保証します。

■ゼロプレイたわみガイドによる高いガイド精度

・たわみガイドにはメンテナンス、摩擦、磨耗がなく、潤滑剤も必要ありません。 ・剛性が高いため、高い耐荷重が可能であり、衝撃や振動に対して鈍感です。

■自動構成と迅速なコンポーネント交換

・メカとコントローラーを必要に応じて組み合わせ、素早く交換できます。 ・すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのD-subコネクタのIDチップに保存されます。

■直接位置測定による最高の精度

・動作は、駆動要素やガイド要素の影響を受けることなく、動作プラットフォームで直接測定されます。 ・最適な再現性、卓越した安定性、堅固で高速応答の制御が可能になります。

■平行運動学による高ダイナミックな多軸動作

・パラレルキネマティック多軸システムでは、すべてのアクチュエータが共通のプラットフォーム上で動作します。 ・最小の質量慣性とすべての軸の同一設計により、高速かつダイナミックでありながら正確な動作が可能になります。

  • 型番

    P-733.2CL

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アパーチャ付き高精度XYスキャナ P-733.2 XYピエゾナノポジショナー P-733.2CLの性能表

商品画像 価格 (税抜) アクティブ軸 X方向の移動範囲 Y方向の移動範囲 X方向の移動範囲、開ループ、-20~120V Y方向の移動範囲、開ループ、-20~+120V Xの直線性誤差 Yの直線性誤差 ピッチ (Y方向の動きによるθX方向の回転クロストーク) ピッチ (X方向の動きによるθY方向の回転クロストーク) ヨー (X方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク) ヨー (Y方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク) Xにおける再現性 Y方向の再現性 X方向の解像度、開ループ Y方向の解像度、開ループ 統合センサー Xでのシステム解像度 Y単位のシステム解像度 ドライブタイプ Xの電気容量 Y方向の電気容量 X方向の剛性 Y方向の剛性 X方向の共振周波数、無負荷 Xの共振周波数、120gの荷重下 200gの荷重下でのXの共振周波数 Y方向の共振周波数、無負荷 Y方向の共振周波数、120gの荷重下 Y方向の共振周波数、200gの荷重下 X方向の許容押付け力
アパーチャ付き高精度XYスキャナ P-733.2 XYピエゾナノポジショナー-品番-P-733.2CL 要見積もり XY 100μm 100μm 115μm 115μm 0.03% 0.03% ±3μrad ±3μrad ±10μrad ±10μrad < 2nm < 2nm 0.2nm 0.2nm 静電容量式の間接的な位置測定 0.3nm 0.3nm ピクマ® 6μF 6μF 1.5N/μm 1.5N/μm 500Hz 370Hz 340Hz 500Hz 370Hz 340Hz 50N

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ドライブの種類

PICMA PILine

移動範囲 µm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000

分解能 nm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11

共振周波数 Hz

0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000

剛性 N/μm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

双方向再現性 nm

0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20

直線性誤差 %

0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5

電気容量 µF

0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50

回転クロストーク µrad

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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