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返答率
100.0%
返答時間
20.5時間
アクティブ軸
XY
X方向の移動範囲、開ループ、-20～120 V
130μm
Y方向の移動範囲、開ループ、-20～+120 V
130μm
ピッチ (Y方向の動きによるθX方向の回転クロストーク)
±10μrad
ピッチ (X方向の動きによるθY方向の回転クロストーク)
±10μrad
ヨー (X方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク)
±10μrad
ヨー (Y方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク)
±50μrad
X方向の解像度、開ループ
0.8nm
Y方向の解像度、開ループ
0.8nm
ドライブタイプ
ピクマ®
電気容量
1.5μF
ガイド
レバー増幅機能付きたわみガイド
X方向の剛性
0.15N/μm
Y方向の剛性
0.15N/μm
X方向の共振周波数、無負荷
400Hz
Xの共振周波数、100gの荷重下
200Hz
Y方向の共振周波数、無負荷
400Hz
Y方向の共振周波数、100gの荷重下
200Hz
X方向の許容押付け力
15N
Y方向の許容押付け力
15N
Z方向の許容押付け力
15N
X方向の許容引張力
5N
X方向の移動範囲
100μm
Y方向の移動範囲
100μm
直線性誤差
0.40%
統合センサー
SGS、間接位置測定
Xでのシステム解像度
5nm
Y単位のシステム解像度
5nm
Xにおける再現性
<10nm
Y方向の再現性
<10nm
型番
P-612.2SL取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社カテゴリ
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ピエゾステージの製品151点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | X方向の移動範囲、開ループ、-20～120 V | Y方向の移動範囲、開ループ、-20～+120 V | ピッチ (Y方向の動きによるθX方向の回転クロストーク) | ピッチ (X方向の動きによるθY方向の回転クロストーク) | ヨー (X方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク) | ヨー (Y方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク) | X方向の移動範囲 | Y方向の移動範囲 | 直線性誤差 | X方向の解像度、開ループ | Y方向の解像度、開ループ | 統合センサー | Xでのシステム解像度 | Y単位のシステム解像度 | Xにおける再現性 | Y方向の再現性 | ドライブタイプ | 電気容量 | ガイド | X方向の剛性 | Y方向の剛性 | X方向の共振周波数、無負荷 | Xの共振周波数、100gの荷重下 | Y方向の共振周波数、無負荷 | Y方向の共振周波数、100gの荷重下 | X方向の許容押付け力 | Y方向の許容押付け力 | Z方向の許容押付け力 | X方向の許容引張力 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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|
要見積もり | XY | 130μm | 130μm | ±10μrad | ±10μrad | ±10μrad | ±50μrad | 100μm | 100μm | 0.40% | 0.8nm | 0.8nm | SGS、間接位置測定 | 5nm | 5nm | <10nm | <10nm | ピクマ® | 1.5μF | レバー増幅機能付きたわみガイド | 0.15N/μm | 0.15N/μm | 400Hz | 200Hz | 400Hz | 200Hz | 15N | 15N | 15N | 5N |
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構造が複数軸ステージの製品
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使用用途
#精密位置決め #顕微鏡制御 #光学調整 #半導体製造 #ナノ操作 #表面観察 #干渉計測構造
単一軸ステージ 複数軸ステージ ガイドレール型用途
高精度測定用 表面加工用 ラボ実験用 光学調整用ドライブの種類
PICMA PILine移動範囲 µm
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000分解能 nm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11共振周波数 Hz
0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000剛性 N/μm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5双方向再現性 nm
0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20直線性誤差 %
0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5電気容量 µF
0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50回転クロストーク µrad
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000
