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返答率
100.0%
返答時間
22.3時間
駆動軸
X、Y、Z、θX、θY、θZ
内蔵センサー
静電容量
移動範囲 (X、Y、Zクローズドループ時)
200 µm
クローズドループストローク チップ/チルト角 θX,θYθZ
±0.5 mrad
クローズドループ分解能 (X,Y,Z)
1 nm
クローズドループ分解能θX,θYθZ
0.1 µrad
リニアリティエラー (X、Y、Z)
0.01 %
リニアリティエラー (θX,θY, θZ)
0.1 %
再現性X、Y、Z
±2 / ±2 / ±3 nm
再現性 θX、θY、θZ
±0.1 / ±0.1 / ±0.15 µrad
平坦度
<15 nm
無負荷時共振周波数 (X,Y,Z)
110 / 110 / 190 Hz
負荷容量
5 kg
セラミックタイプ
PICMA
電気容量 (X,Y,Z)
7.4 / 7.4 / 14.8 µF
動作温度範囲
-20~80 ℃
材料
アルミニウム
質量
1.45 kg
ケーブル長さ
1.5 m
センサー/ボルト接続
2 x D-sub25W3 (m)
推奨コントローラ
E-712
型番
P-562.6CD取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 駆動軸 | 内蔵センサー | 移動範囲 (X、Y、Zクローズドループ時) | クローズドループストローク チップ/チルト角 θX,θYθZ | クローズドループ分解能 (X,Y,Z) | クローズドループ分解能θX,θYθZ | リニアリティエラー (X、Y、Z) | リニアリティエラー (θX,θY, θZ) | 再現性X、Y、Z | 再現性 θX、θY、θZ | 平坦度 | 無負荷時共振周波数 (X,Y,Z) | 負荷容量 | セラミックタイプ | 電気容量 (X,Y,Z) | 動作温度範囲 | 材料 | 質量 | ケーブル長さ | センサー/ボルト接続 | 推奨コントローラ |
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要見積もり | X、Y、Z、θX、θY、θZ | 静電容量 | 200 µm | ±0.5 mrad | 1 nm | 0.1 µrad | 0.01 % | 0.1 % | ±2 / ±2 / ±3 nm | ±0.1 / ±0.1 / ±0.15 µrad | <15 nm | 110 / 110 / 190 Hz | 5 kg | PICMA | 7.4 / 7.4 / 14.8 µF | -20~80 ℃ | アルミニウム | 1.45 kg | 1.5 m | 2 x D-sub25W3 (m) | E-712 |
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使用用途
#半導体検査 #レーザー加工 #光学調整 #顕微観察 #微細加工 #ナノ計測 #自動位置決め #生体観察 #精密組立 #表面検査 #電子部品配置アクティブ軸
X Y Z θZ移動範囲 mm
0 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 1,000最小増分モーション µm
0 - 1 1 - 5 5 - 10最大速度 mm/s
0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 100 100 - 600駆動力 N
0 - 1 1 - 20 20 - 200許容押し力 N
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 500ドライブの種類
ステッピングモーター DCモーター ブラシレスDCモーター DCギアモーター 三相リニアモーター ピエゾモーター 三相トルクモーターガイド
クロスローラーガイド 再循環ボールベアリングガイド レバー増幅付き曲げガイド ボールガイド エアベアリング
