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センサーコネクタ
アクティブ軸
Z
ドライブの種類
ピクマ®
ガイド
レバー増幅付き曲げガイド
Y単位の許容押し力 (N)
10
Z単位の許容押し力 (N)
10
材料
アルミニウム
ケーブル長 (m)
1.5
Zの直線性誤差 (%)
0.02
統合センサー
静電容量式、直接位置測定
Zでの双方向再現性 (nm)
±1
型番
P-620.Z0L取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | 移動範囲 (Z) 、開ループ (µm) | ヨー (θXの回転クロストークとZの運動) (μrad) | ピッチ (回転クロストーク (θY、運動はZ) (μrad) | Z単位の分解能、開ループ (nm) | ドライブの種類 | Z単位の電気容量 (μF) | 短期最大動作周波数 (Hz) | ガイド | Zの剛性 (N/μm) | Zの共振周波数、30gの負荷下 (Hz) | Zの共振周波数、無負荷 (Hz) | Y単位の許容押し力 (N) | Z単位の許容押し力 (N) | Z単位の許容引張力 (N) | 全体の質量 (g) | 材料 | コネクタ | 推奨コントローラ/ドライバ | ケーブル長 (m) | 使用温度範囲 (℃) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
要見積もり | Z | 65 | ±80 | ±80 | 0.1 | ピクマ® | 0.7 | 333 | レバー増幅付き曲げガイド | 0.5 | 690 | 1,000 | 10 | 10 | 5 | 120 | アルミニウム | LEMOFFS.00.250.CTCE24 | E-503,E-505,E-610 | 1.5 | -20から150 |
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ドライブの種類
PICMA PILine移動範囲 µm
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000分解能 nm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11共振周波数 Hz
0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000剛性 N/μm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5双方向再現性 nm
0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20直線性誤差 %
0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5電気容量 µF
0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50回転クロストーク µrad
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000
