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磁気ダイレクトドライブによる高いダイナミクス、高い安定性 LMS-270 精密リニアステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

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X単位の移動範囲 (mm)

真直度 (Yの線形クロストークとXの運動) (µm)

平坦度 (Zの線形クロストークとXの運動) (µm)

ピッチ (θY単位回転クロストークX単位運動) (µrad)

ヨー (θZの回転クロストークとXの運動) (µrad)

センサー解像度 (nm)

インダクタンス相間 (mH)

全型番で同じ値の指標

アクティブ軸

x

X単位の最大速度、無負荷 (mm/s)

800

X単位の最小増分モーション (μm)

0.05

X単位の位置決め精度、未校正 (μm)

±70

Xにおける一方向再現性 (µm)

±0.0375

Xでの双方向再現性 (µm)

0.3

リミットスイッチ

帰納

統合センサー

インクリメンタルリニアエンコーダ

センサー信号

Sin/cos、1Vピークピーク

ドライブの種類

アイアンレス3相リニアモーター

公称電圧 (V)

48

公称電流、実効値 (A)

3.7

ピーク電流、実効値 (A)

17.5

Xの駆動力 (N)

100

Xのピーク力 (N)

480

力定数 (N/A)

27.5

抵抗相間 (Ω)

1.28

逆起電力位相 (V·s/m)

22.5

ポールピッチN-N (mm)

42

Y単位の許容押し力 (N)

500

Z単位の許容押し力 (N)

500

質量をX単位で移動し、無負荷 (g)

2,500

ガイド

再循環ボールベアリングガイド

この製品について

製品概要

■リファレンスクラスリニアステージ

高い移動精度。誘導リミットスイッチ。アナログ信号伝送 (sin/cos、1V) を備えたインクリメンタルエンコーダによる高い位置分解能 DCサーボモータまたはステッピングモータを備えたバージョンは、同じフットプリントで入手可能です。

■磁気ダイレクトドライブ

高速と加速のためのアイアンレス磁気ダイレクトドライブ。高い位置分解能。

■応用分野

産業と研究。半導体または電子機器製造における計測、精密スキャン。

■製品特徴

・1,016mm (40'') までの移動範囲 ・800mm/sまでの速度 ・分解能15nmのインクリメンタルエンコーダ ・480Nピーク力

  • 型番

    6239500059

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磁気ダイレクトドライブによる高いダイナミクス、高い安定性 LMS-270 精密リニアステージ 6239500059の性能表

商品画像 価格 (税抜) アクティブ軸 X単位の移動範囲 (mm) X単位の最大速度、無負荷 (mm/s) 真直度 (Yの線形クロストークとXの運動) (µm) 平坦度 (Zの線形クロストークとXの運動) (µm) ピッチ (θY単位回転クロストークX単位運動) (µrad) ヨー (θZの回転クロストークとXの運動) (µrad) X単位の最小増分モーション (μm) X単位の位置決め精度、未校正 (μm) Xにおける一方向再現性 (µm) Xでの双方向再現性 (µm) リミットスイッチ 統合センサー センサー信号 センサー解像度 (nm) ドライブの種類 公称電圧 (V) 公称電流、実効値 (A) ピーク電流、実効値 (A) Xの駆動力 (N) Xのピーク力 (N) 力定数 (N/A) 抵抗相間 (Ω) インダクタンス相間 (mH) 逆起電力位相 (V·s/m) ポールピッチN-N (mm) Y単位の許容押し力 (N) Z単位の許容押し力 (N) 質量をX単位で移動し、無負荷 (g) ガイド
磁気ダイレクトドライブによる高いダイナミクス、高い安定性 LMS-270 精密リニアステージ-品番-6239500059 要見積もり x 1,015 800 ±10 ±10 ±120 ±50 0.05 ±70 ±0.0375 0.3 帰納 インクリメンタルリニアエンコーダ Sin/cos、1Vピークピーク 18 アイアンレス3相リニアモーター 48 3.7 17.5 100 480 27.5 1.28 4 22.5 42 500 500 2,500 再循環ボールベアリングガイド

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アクティブ軸

X Y Z θZ

移動範囲 mm

0 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 1,000

最小増分モーション µm

0 - 1 1 - 5 5 - 10

最大速度 mm/s

0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 100 100 - 600

駆動力 N

0 - 1 1 - 20 20 - 200

許容押し力 N

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 500

ドライブの種類

ステッピングモーター DCモーター ブラシレスDCモーター DCギアモーター 三相リニアモーター ピエゾモーター 三相トルクモーター

ガイド

クロスローラーガイド 再循環ボールベアリングガイド レバー増幅付き曲げガイド ボールガイド エアベアリング

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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