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コンパクト設計、10kgまでの荷重に対応 L-509 V6 • V7 • V9 真空対応精密リニアステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

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X単位の移動範囲 (mm)

X単位の最大速度、無負荷 (mm/s)

真直度 (Yの線形クロストークとXの運動) (µm)

平坦度 (Zの線形クロストークとXの運動) (µm)

ピッチ (θY単位回転クロストークX単位運動) (µrad)

ヨー (θZの回転クロストークとXの運動) (µrad)

Xにおける一方向再現性 (µm)

公称電圧 (V)

抵抗相間 (Ω)

インダクタンス相間 (mH)

モーターエンコーダ:センサー信号

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アクティブ軸

x

X単位の最小増分モーション (μm)

0.1

モーター分解能

200フルステップ/リビジョン

ピーク電圧 (V)

48

X単位の負の運動方向への駆動力 (N)

60

X単位の正の運動方向への駆動力 (N)

60

ガイド

クロスローラーガイド

駆動ネジ式

ボールねじ

駆動ネジピッチ (mm)

1

Xの保持力、パッシブ (N)

50

質量を単位で移動し、無負荷 (g)

220

Y単位の許容押し力 (N)

50

Z単位の許容押し力 (N)

100

許容トルク (θx) (N·m)

30

許容トルク (θY) (N·m)

25

許容トルク (θZ) (N·m)

20

モーターエンコーダ

インクリメンタルロータリエンコーダ

逆起電力位相-位相 (V·kRPM)

1.68

この製品について

■製品概要

アンチクリープシステムを備えたクロスローラーガイドによる高い移動精度と負荷容量。1mmピッチの精密ボールねじ。コンパクトなデザイン。高い安定性のための応力緩和アルミニウムベース。リミットスイッチ。移動範囲の中央に方向検出を備えた非接触光基準スイッチ。

■特に真空環境での使用のためのアウトガスの削減

最も注目すべきは、ガイドとスピンドルの潤滑には、特にアウトガスの少ない材料が使用されていることです。これにより、最大80℃のベークアウト温度が可能になります。PI V6真空クラスのこれと他の変更により、このポジショナーは最大10個まで使用できます-6ヘクトパスカル。

■高真空でのアプリケーション向けの高品質

この場合、モーター、測定システム、リミットスイッチなど、高真空に適した特殊なコンポーネントが使用されます。さらに、表面はコーティングされていないアルミニウムでできており、スピンドルとガイドはステンレス鋼で作られています。これにより、PI V7真空クラスに到達し、最大10-7ヘクトパスカル。

■超高真空の特殊要件に対応する最高品質

この真空クラスでは、PI V9真空クラスを最大10まで到達するために、超高真空に適したコンポーネントにより、製品は細部まで最適化されています-9ヘクトパスカル。とりわけ、選択された種類のプラスチックのみがこの目的のために使用され、測定システムなしでそれぞれ120℃、測定システムなしで150℃のベークアウト温度が適用されます。

■利用可能なモータータイプ

低モーター出力での高トルクと分解能のためのギアヘッド付きDCモーター、10まで-6ヘクトパスカル 低速および高分解能用の2相ステッピングモーター、10まで-9ヘクトパスカル

■位置測定の種類

エンコーダなし (オープンループ) モーターシャフトに統合されたロータリーエンコーダー

■応用分野

真空チャンバー。研究。ビームライン計装顕微鏡。電子機器の組み立てと検査。

■製品特徴

・最大10個の真空対応-9ヘクトパスカル ・移動範囲は26〜102mm (1インチ〜4インチ) ・0.1μmまでの繰り返し精度 ・DCギアモーター、ステッピングモーター ・方向感知用基準スイッチ ・多軸セットアップが可能 ※ほかにも型番がございます。

  • 型番

    L-509.034132V6

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コンパクト設計、10kgまでの荷重に対応 L-509 V6 • V7 • V9 真空対応精密リニアステージ L-509.034132V6の性能表

商品画像 価格 (税抜) アクティブ軸 X単位の移動範囲 (mm) X単位の最大速度、無負荷 (mm/s) 真直度 (Yの線形クロストークとXの運動) (µm) 平坦度 (Zの線形クロストークとXの運動) (µm) ピッチ (θY単位回転クロストークX単位運動) (µrad) ヨー (θZの回転クロストークとXの運動) (µrad) Xにおける一方向再現性 (µm) X単位の最小増分モーション (μm) リミットスイッチ モーターエンコーダ モーターエンコーダ:センサー信号 ドライブの種類 公称電圧 (V) X単位の負の運動方向への駆動力 (N) X単位の正の運動方向への駆動力 (N) 抵抗相間 (Ω) インダクタンス相間 (mH) 逆起電力位相-位相 (V·kRPM) ガイド 駆動ネジ式 駆動ネジピッチ (mm) Xの保持力、パッシブ (N) 質量を単位で移動し、無負荷 (g) Y単位の許容押し力 (N) Z単位の許容押し力 (N) 許容トルク (θx) (N·m) 許容トルク (θY) (N·m) 許容トルク (θZ) (N·m) 全体の質量 (g)
コンパクト設計、10kgまでの荷重に対応 L-509 V6 • V7 • V9 真空対応精密リニアステージ-品番-L-509.034132V6 要見積もり x 52 1.5 ±4 ±4 ±90 ±90 0.1 0.1 分岐光電センサ、N/C接点,、5V、NPN インクリメンタルロータリエンコーダ A/B直交、RS-422 直流ギアモーター 12 60 60 4.09 0.18 1.68 クロスローラーガイド ボールねじ 1 50 220 50 100 30 25 20 1,200

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アクティブ軸

X Y Z θZ

移動範囲 mm

0 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 1,000

最小増分モーション µm

0 - 1 1 - 5 5 - 10

最大速度 mm/s

0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 100 100 - 600

駆動力 N

0 - 1 1 - 20 20 - 200

許容押し力 N

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 500

ドライブの種類

ステッピングモーター DCモーター ブラシレスDCモーター DCギアモーター 三相リニアモーター ピエゾモーター 三相トルクモーター

ガイド

クロスローラーガイド 再循環ボールベアリングガイド レバー増幅付き曲げガイド ボールガイド エアベアリング

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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