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コンパクト設計、10kgまでの荷重に対応 L-509 V6 • V7 • V9 真空対応精密リニアステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

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X単位の移動範囲 (mm)

X単位の最大速度、無負荷 (mm/s)

真直度 (Yの線形クロストークとXの運動) (µm)

平坦度 (Zの線形クロストークとXの運動) (µm)

ピッチ (θY単位回転クロストークX単位運動) (µrad)

ヨー (θZの回転クロストークとXの運動) (µrad)

Xにおける一方向再現性 (µm)

公称電圧 (V)

抵抗相間 (Ω)

インダクタンス相間 (mH)

モーターエンコーダ:センサー信号

全型番で同じ値の指標

アクティブ軸

x

X単位の最小増分モーション (μm)

0.1

モーター分解能

200フルステップ/リビジョン

ピーク電圧 (V)

48

X単位の負の運動方向への駆動力 (N)

60

X単位の正の運動方向への駆動力 (N)

60

ガイド

クロスローラーガイド

駆動ネジ式

ボールねじ

駆動ネジピッチ (mm)

1

Xの保持力、パッシブ (N)

50

質量を単位で移動し、無負荷 (g)

220

Y単位の許容押し力 (N)

50

Z単位の許容押し力 (N)

100

許容トルク (θx) (N·m)

30

許容トルク (θY) (N·m)

25

許容トルク (θZ) (N·m)

20

モーターエンコーダ

インクリメンタルロータリエンコーダ

逆起電力位相-位相 (V·kRPM)

1.68

この製品について

■製品概要

アンチクリープシステムを備えたクロスローラーガイドによる高い移動精度と負荷容量。1mmピッチの精密ボールねじ。コンパクトなデザイン。高い安定性のための応力緩和アルミニウムベース。リミットスイッチ。移動範囲の中央に方向検出を備えた非接触光基準スイッチ。

■特に真空環境での使用のためのアウトガスの削減

最も注目すべきは、ガイドとスピンドルの潤滑には、特にアウトガスの少ない材料が使用されていることです。これにより、最大80℃のベークアウト温度が可能になります。PI V6真空クラスのこれと他の変更により、このポジショナーは最大10個まで使用できます-6ヘクトパスカル。

■高真空でのアプリケーション向けの高品質

この場合、モーター、測定システム、リミットスイッチなど、高真空に適した特殊なコンポーネントが使用されます。さらに、表面はコーティングされていないアルミニウムでできており、スピンドルとガイドはステンレス鋼で作られています。これにより、PI V7真空クラスに到達し、最大10-7ヘクトパスカル。

■超高真空の特殊要件に対応する最高品質

この真空クラスでは、PI V9真空クラスを最大10まで到達するために、超高真空に適したコンポーネントにより、製品は細部まで最適化されています-9ヘクトパスカル。とりわけ、選択された種類のプラスチックのみがこの目的のために使用され、測定システムなしでそれぞれ120℃、測定システムなしで150℃のベークアウト温度が適用されます。

■利用可能なモータータイプ

低モーター出力での高トルクと分解能のためのギアヘッド付きDCモーター、10まで-6ヘクトパスカル 低速および高分解能用の2相ステッピングモーター、10まで-9ヘクトパスカル

■位置測定の種類

エンコーダなし (オープンループ) モーターシャフトに統合されたロータリーエンコーダー

■応用分野

真空チャンバー。研究。ビームライン計装顕微鏡。電子機器の組み立てと検査。

■製品特徴

・最大10個の真空対応-9ヘクトパスカル ・移動範囲は26〜102mm (1インチ〜4インチ) ・0.1μmまでの繰り返し精度 ・DCギアモーター、ステッピングモーター ・方向感知用基準スイッチ ・多軸セットアップが可能 ※ほかにも型番がございます。

  • 型番

    L-509.051100V6

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コンパクト設計、10kgまでの荷重に対応 L-509 V6 • V7 • V9 真空対応精密リニアステージ L-509.051100V6の性能表

商品画像 価格 (税抜) アクティブ軸 X単位の移動範囲 (mm) X単位の最大速度、無負荷 (mm/s) 真直度 (Yの線形クロストークとXの運動) (µm) 平坦度 (Zの線形クロストークとXの運動) (µm) ピッチ (θY単位回転クロストークX単位運動) (µrad) ヨー (θZの回転クロストークとXの運動) (µrad) Xにおける一方向再現性 (µm) X単位の最小増分モーション (μm) リミットスイッチ ドライブの種類 モーター分解能 公称電圧 (V) ピーク電圧 (V) X単位の負の運動方向への駆動力 (N) X単位の正の運動方向への駆動力 (N) 抵抗相間 (Ω) インダクタンス相間 (mH) ガイド 駆動ネジ式 駆動ネジピッチ (mm) Xの保持力、パッシブ (N) 質量を単位で移動し、無負荷 (g) Y単位の許容押し力 (N) Z単位の許容押し力 (N) 許容トルク (θx) (N·m) 許容トルク (θY) (N·m) 許容トルク (θZ) (N·m) 全体の質量 (g)
コンパクト設計、10kgまでの荷重に対応 L-509 V6 • V7 • V9 真空対応精密リニアステージ-品番-L-509.051100V6 要見積もり x 102 10 ±8 ±8 ±120 ±120 0.3 0.1 分岐光電センサ、N/C接点,、5V、NPN 2相ステッピングモーター 200フルステップ/リビジョン 24 48 60 60 3.3 2.8 クロスローラーガイド ボールねじ 1 50 220 50 100 30 25 20 1,700

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アクティブ軸

X Y Z θZ

移動範囲 mm

0 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 1,000

最小増分モーション µm

0 - 1 1 - 5 5 - 10

最大速度 mm/s

0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 100 100 - 600

駆動力 N

0 - 1 1 - 20 20 - 200

許容押し力 N

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 500

ドライブの種類

ステッピングモーター DCモーター ブラシレスDCモーター DCギアモーター 三相リニアモーター ピエゾモーター 三相トルクモーター

ガイド

クロスローラーガイド 再循環ボールベアリングガイド レバー増幅付き曲げガイド ボールガイド エアベアリング

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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