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返答率
100.0%
返答時間
20.2時間
設計解像度 (µm)
ピッチ/ヨー (µrad)
モータータイプ (Full)
アクティブ軸
x
移動範囲 (mm)
26/52/102
統合センサー
ロータリエンコーダ
一方向再現性 (µm)
0.5
双方向再現性 (µm)
±5
真直度/平坦度 (µm)
±2/±4/±6
リファレンスおよびリミットスイッチ
分岐光電センサ、N/C接点、5V、NPN
ガイドの種類
再循環ボールベアリングガイド
駆動ネジ式
親ねじ
駆動ネジピッチ (mm)
1
耐荷重 (N)
100
許容横力 (N)
50
許容トルク(θ)X, θY, θZ (N·m)
7.5
使用温度範囲 (℃)
5から40
材料
アルミニウム、スチール
質量 (kg)
0.8/0.9/1.0
移動質量 (kg)
0.16
コネクタ
ハイビジョンDサブ26 (m)
ギヤ比
2,401:81
ステップ解決 (Full steps/rev.)
200
型番
L-406.x0DG10取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社カテゴリ
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自動ステージの製品208点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | 移動範囲 (mm) | 統合センサー | センサー分解能ロータリエンコーダ (cts./rev.) | 設計解像度 (µm) | 最小インクリメンタルモーション (µm) | 一方向再現性 (µm) | 双方向再現性 (µm) | ピッチ/ヨー (µrad) | 真直度/平坦度 (µm) | 最大速度 (mm/s) | リファレンスおよびリミットスイッチ | ガイドの種類 | 駆動ネジ式 | 駆動ネジピッチ (mm) | ギヤ比 | 耐荷重 (N) | プッシュ/プル力 (N) | 許容横力 (N) | セルフロック (N) | 許容トルク(θ)X, θY, θZ (N·m) | モータータイプ (Full) | 動作電圧、公称 | 動作電圧、最大 (V) | 使用温度範囲 (℃) | 材料 | 質量 (kg) | 移動質量 (kg) | コネクタ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
要見積もり | x | 26/52/102 | ロータリエンコーダ | 2,048 | 0.0165 | 0.2 | 0.5 | ±5 | ±70/±90 /±100 | ±2/±4/±6 | 3 | 分岐光電センサ、N/C接点、5V、NPN | 再循環ボールベアリングガイド | 親ねじ | 1 | 2,401:81 | 100 | 100 | 50 | 100 | 7.5 | 直流ギアモーター | 12 | 24 | 5から40 | アルミニウム、スチール | 0.8/0.9/1.0 | 0.16 | ハイビジョンDサブ26 (m) |
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使用用途
#検査測定 #位置決め #微細加工 #半導体製造 #光学調整 #レーザー加工 #顕微観察 #デバイス評価 #バイオ操作 #精密印刷移動方式
電動 手動 空気浮上駆動方式
ステッピングモータ式 サーボモータ式 ピエゾ駆動式 リニアモータ式 リニアガイド ボーデンケーブル ラックアンドピニオン ウォームギア リニアモーター 親ねじ DCモータ ステッピングモーター ボールねじ サーボ制御移動軸構成
単軸 二軸 三軸 回転 傾斜特殊機能
真空対応型 クリーンルーム対応型 高耐荷重型 高分解能型移動範囲 mm
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600耐荷重 N
10 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 500位置決め精度 μm
0 - 1 1 - 2 2 - 4 4 - 50 50 - 60繰り返し精度 μm
0 - 1 1 - 10 10 - 11ストローク mm
-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 800ステージ高さ mm
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300動作温度 ℃
-10 - 0 0 - 10 10 - 30 30 - 40
