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L-310 V6 真空精密Zステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

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アクティブ軸

z

Z単位の移動範囲 (mm)

26

Z単位の最大速度、無負荷 (mm/s)

7.5

平坦度 (Xの線形クロストークとZの運動) (µm)

±3

真直度 (Yの線形クロストークとZの運動) (µm)

±3

ヨー (θXの回転クロストークとZの運動) (µrad)

±150

ピッチ(θY単位回転クロストークとZ単位運動) (µrad)

±150

統合センサー

インクリメンタルリニアエンコーダ

Z単位の一方向再現性 (µm)

0.1

Zでの双方向再現性 (µm)

±0.2

Z単位の最小増分モーション (µm)

0.05

センサー信号

Sin/cos、1Vピークピーク

センサー信号周期 (µm)

20

基準スイッチ

ホール効果、N/C接点、5V、NPN

基準スイッチの再現性

2

リミットスイッチ

ホール効果、N/C接点、5V、NPN

ドライブの種類

2相ステッピングモーター

モーター分解能

200フルステップ/リビジョン

公称電圧 (V)

24

ピーク電圧 (V)

48

Z単位の負の運動方向への駆動力 (N)

55

Z単位の正の運動方向への駆動力 (N)

55

ガイド

クロスローラーガイド

駆動ネジ式

ボールねじ

駆動ネジピッチ (mm)

1

Zの保持力、パッシブ (N)

50

質量をZ単位で移動し、無負荷 (g)

900

Xでの許容力押し力 (N)

100

Y単位の許容押し力 (N)

50

Z単位の許容押し力 (N)

55

この製品について

製品概要

■精密クラスZステージ

ボールねじとクロスローラーガイドによる高いガイド精度と剛性。高い安定性のための応力緩和アルミニウムベース。低速でも高トルクを実現する2相ステッピングモーターと高分解能 非接触リミットおよびリファレンススイッチ (ホール効果) 。移動範囲の中央に方向検出を備えた基準スイッチ。中央に設置されたリニアエンコーダを内蔵。

■インクリメンタルリニアエンコーダによる高精度位置測定

非接触光学式リニアエンコーダは、プラットフォームの位置を最高の精度で直接測定します。非線形性、機械的遊び、弾性変形は測定に影響を与えません。

■特に真空環境での使用のためのアウトガスの削減

最も注目すべきは、ガイドと駆動スクリューの潤滑には、特にアウトガスの少ない材料が使用されていることです。これにより、最大80℃のベークアウト温度が可能になります。PI V6真空クラスのこれと他の変更により、このポジショナーは最大10個まで使用できます-6ヘクトパスカル。

■応用分野

真空チャンバー。研究。ビームライン計装顕微鏡。電子機器の組み立てと検査。

■製品特徴

・10までの真空に適しています-6ヘクトパスカル ・移動範囲26mm (1") ・高解像度エンコーダ ・ステッピングモータ ・ゼロプレイボールねじ ・5.5kgまでの耐荷重

  • 型番

    L-310.021211V6

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L-310 V6 真空精密Zステージ L-310.021211V6の性能表

商品画像 価格 (税抜) アクティブ軸 Z単位の移動範囲 (mm) Z単位の最大速度、無負荷 (mm/s) 平坦度 (Xの線形クロストークとZの運動) (µm) 真直度 (Yの線形クロストークとZの運動) (µm) ヨー (θXの回転クロストークとZの運動) (µrad) ピッチ(θY単位回転クロストークとZ単位運動) (µrad) 統合センサー Z単位の一方向再現性 (µm) Zでの双方向再現性 (µm) Z単位の最小増分モーション (µm) センサー信号 センサー信号周期 (µm) 基準スイッチ 基準スイッチの再現性 リミットスイッチ ドライブの種類 モーター分解能 公称電圧 (V) ピーク電圧 (V) Z単位の負の運動方向への駆動力 (N) Z単位の正の運動方向への駆動力 (N) ガイド 駆動ネジ式 駆動ネジピッチ (mm) Zの保持力、パッシブ (N) 質量をZ単位で移動し、無負荷 (g) Xでの許容力押し力 (N) Y単位の許容押し力 (N) Z単位の許容押し力 (N)
L-310 V6 真空精密Zステージ-品番-L-310.021211V6 要見積もり z 26 7.5 ±3 ±3 ±150 ±150 インクリメンタルリニアエンコーダ 0.1 ±0.2 0.05 Sin/cos、1Vピークピーク 20 ホール効果、N/C接点、5V、NPN 2 ホール効果、N/C接点、5V、NPN 2相ステッピングモーター 200フルステップ/リビジョン 24 48 55 55 クロスローラーガイド ボールねじ 1 50 900 100 50 55

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アクティブ軸

X Y Z θZ

移動範囲 mm

0 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 1,000

最小増分モーション µm

0 - 1 1 - 5 5 - 10

最大速度 mm/s

0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 100 100 - 600

駆動力 N

0 - 1 1 - 20 20 - 200

許容押し力 N

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 500

ドライブの種類

ステッピングモーター DCモーター ブラシレスDCモーター DCギアモーター 三相リニアモーター ピエゾモーター 三相トルクモーター

ガイド

クロスローラーガイド 再循環ボールベアリングガイド レバー増幅付き曲げガイド ボールガイド エアベアリング

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

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返答時間

22.3時間

会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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