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返答率
100.0%
返答時間
22.3時間
アクティブ軸
z
Z単位の移動範囲 (mm)
26
Z単位の最大速度、無負荷 (mm/s)
7.5
平坦度 (Xの線形クロストークとZの運動) (µm)
±3
真直度 (Yの線形クロストークとZの運動) (µm)
±3
ヨー (θXの回転クロストークとZの運動) (µrad)
±150
ピッチ(θY単位回転クロストークとZ単位運動) (µrad)
±150
統合センサー
インクリメンタルリニアエンコーダ
Z単位の一方向再現性 (µm)
0.1
Zでの双方向再現性 (µm)
±0.2
Z単位の最小増分モーション (µm)
0.05
センサー信号
Sin/cos、1Vピークピーク
センサー信号周期 (µm)
20
基準スイッチ
ホール効果、N/C接点、5V、NPN
基準スイッチの再現性
2
リミットスイッチ
ホール効果、N/C接点、5V、NPN
ドライブの種類
2相ステッピングモーター
モーター分解能
200フルステップ/リビジョン
公称電圧 (V)
24
ピーク電圧 (V)
48
Z単位の負の運動方向への駆動力 (N)
55
Z単位の正の運動方向への駆動力 (N)
55
ガイド
クロスローラーガイド
駆動ネジ式
ボールねじ
駆動ネジピッチ (mm)
1
Zの保持力、パッシブ (N)
50
質量をZ単位で移動し、無負荷 (g)
900
Xでの許容力押し力 (N)
100
Y単位の許容押し力 (N)
50
Z単位の許容押し力 (N)
55
型番
L-310.021211V6シリーズ
L-310 V6 真空精密Zステージ取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社カテゴリ
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精密ステージの製品423点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | Z単位の移動範囲 (mm) | Z単位の最大速度、無負荷 (mm/s) | 平坦度 (Xの線形クロストークとZの運動) (µm) | 真直度 (Yの線形クロストークとZの運動) (µm) | ヨー (θXの回転クロストークとZの運動) (µrad) | ピッチ(θY単位回転クロストークとZ単位運動) (µrad) | 統合センサー | Z単位の一方向再現性 (µm) | Zでの双方向再現性 (µm) | Z単位の最小増分モーション (µm) | センサー信号 | センサー信号周期 (µm) | 基準スイッチ | 基準スイッチの再現性 | リミットスイッチ | ドライブの種類 | モーター分解能 | 公称電圧 (V) | ピーク電圧 (V) | Z単位の負の運動方向への駆動力 (N) | Z単位の正の運動方向への駆動力 (N) | ガイド | 駆動ネジ式 | 駆動ネジピッチ (mm) | Zの保持力、パッシブ (N) | 質量をZ単位で移動し、無負荷 (g) | Xでの許容力押し力 (N) | Y単位の許容押し力 (N) | Z単位の許容押し力 (N) |
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要見積もり | z | 26 | 7.5 | ±3 | ±3 | ±150 | ±150 | インクリメンタルリニアエンコーダ | 0.1 | ±0.2 | 0.05 | Sin/cos、1Vピークピーク | 20 | ホール効果、N/C接点、5V、NPN | 2 | ホール効果、N/C接点、5V、NPN | 2相ステッピングモーター | 200フルステップ/リビジョン | 24 | 48 | 55 | 55 | クロスローラーガイド | ボールねじ | 1 | 50 | 900 | 100 | 50 | 55 |
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アクティブ軸
X Y Z θZ移動範囲 mm
0 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 1,000最小増分モーション µm
0 - 1 1 - 5 5 - 10最大速度 mm/s
0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 100 100 - 600駆動力 N
0 - 1 1 - 20 20 - 200許容押し力 N
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 500ドライブの種類
ステッピングモーター DCモーター ブラシレスDCモーター DCギアモーター 三相リニアモーター ピエゾモーター 三相トルクモーターガイド
クロスローラーガイド 再循環ボールベアリングガイド レバー増幅付き曲げガイド ボールガイド エアベアリング