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L-310 Z軸モータステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

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Z単位の最大速度、無負荷 (mm/s)

Zでの一方向再現性 (µm)

Zでの双方向再現性(µm)

Z単位の最小増分モーション(µm)

Z単位の負の運動方向への駆動力 (N)

Z単位の正の運動方向への駆動力 (N)

Z単位の許容押し力 (N)

センサー解像度 (nm) (Cts./rev.)

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アクティブ軸

z

Z単位の移動範囲 (mm)

26

平坦度 (Xの線形クロストークとZの運動) (µm)

±3

真直度 (Yの線形クロストークとZの運動) (µm)

±3

ヨー (θXの回転クロストークとZの運動) (µrad)

±150

ピッチ (θY単位回転クロストークZ単位運動) (µrad)

±150

ロール(回転クロストーク (θZ、Zの動き) (μrad)

±150

統合センサー

インクリメンタルリニアエンコーダ

センサー信号周期 (µm)

20

基準スイッチ

ホール効果、N/C接点、5V、NPN

基準スイッチの再現性

2

リミットスイッチ

ホール効果、N/C接点、5V、NPN

公称電圧 (V)

24

ピーク電圧 (V)

48

ガイド

クロスローラーガイド

駆動ネジ式

ボールねじ

駆動ネジピッチ (mm)

1

質量をZ単位で移動し、無負荷 (N)

900

Y単位の許容押し力 (g)

100

モーター分解能

200フルステップ/リビジョン

この製品について

製品概要

■精密クラスZステージ

ボールねじとクロスローラーガイドによる高いガイド精度と剛性。高い安定性のための応力緩和アルミニウムベース。ご要望に応じて真空対応の製品バリエーションをご用意しています。非接触リミットおよびリファレンススイッチ (ホール効果) 。移動範囲の中央に方向検出を備えた基準スイッチ。

■ドライブの種類

・xxSDバリアント:低速でも高トルクと高解像度を実現する2相ステッピングモーター。 ・023xxxバリアント:DCサーボモーター ・025xxxバリアント:高回転速度用のブラシレスDCモーター (BLDC) 。スムーズな走行と低摩耗により、長寿命。

■位置測定

・DCモーター付きバージョン:ロータリーエンコーダ ・オプション:中央に設置された統合リニアエンコーダ。

■インクリメンタルリニアエンコーダによる高精度位置測定

非接触光学式リニアエンコーダは、プラットフォームの位置を最高の精度で直接測定します。非線形性、機械的遊び、弾性変形は測定に影響を与えません。

■最小インクリメンタルモーションとスローモーション

ACSコントローラ (ECMsm-4B44T-NNNNNNなど) と組み合わせて、ステッピングモータと内蔵リニアエンコーダ (L-310.xASD) を備えたバージョンは、センサ分解能の範囲で再現性のある最小増分モーションを実現します。同じ構成で、毎秒数センサー刻みの一定の低速度を実現します。

■応用分野

産業および研究における精密位置決め、高デューティサイクル。

■製品特徴

・移動範囲26mm (1") ・高解像度エンコーダ ・DC、BLDC、およびステッピングモータ ・ゼロプレイボールねじ ・10kgまでの耐荷重 ・真空に適したバリエーションが利用可能

  • 型番

    L-310.023212

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L-310 Z軸モータステージ L-310.023212の性能表

商品画像 価格 (税抜) アクティブ軸 Z単位の移動範囲 (mm) Z単位の最大速度、無負荷 (mm/s) 平坦度 (Xの線形クロストークとZの運動) (µm) 真直度 (Yの線形クロストークとZの運動) (µm) ヨー (θXの回転クロストークとZの運動) (µrad) ピッチ (θY単位回転クロストークZ単位運動) (µrad) ロール(回転クロストーク (θZ、Zの動き) (μrad) 統合センサー Zでの一方向再現性 (µm) Zでの双方向再現性(µm) Z単位の最小増分モーション(µm) センサー信号 基準スイッチ 基準スイッチの再現性 リミットスイッチ センサー解像度 (nm) (Cts./rev.) ドライブの種類 公称電圧 (V) ピーク電圧 (V) Z単位の負の運動方向への駆動力 (N) Z単位の正の運動方向への駆動力 (N) ガイド 駆動ネジ式 駆動ネジピッチ (mm) 質量をZ単位で移動し、無負荷 (N) Y単位の許容押し力 (g) Z単位の許容押し力 (N)
L-310 Z軸モータステージ-品番-L-310.023212 要見積もり z 26 50 ±3 ±3 ±150 ±150 ±150 インクリメンタルリニアエンコーダ 0.2 ±0.2 0.2 A/B直交、RS-422 ホール効果、N/C接点、5V、NPN 2 ホール効果、N/C接点、5V、NPN 50 直流モータ 24 48 100 100 クロスローラーガイド ボールねじ 1 900 100 100

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アクティブ軸

X Y Z θZ

移動範囲 mm

0 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 1,000

最小増分モーション µm

0 - 1 1 - 5 5 - 10

最大速度 mm/s

0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 100 100 - 600

駆動力 N

0 - 1 1 - 20 20 - 200

許容押し力 N

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 500

ドライブの種類

ステッピングモーター DCモーター ブラシレスDCモーター DCギアモーター 三相リニアモーター ピエゾモーター 三相トルクモーター

ガイド

クロスローラーガイド 再循環ボールベアリングガイド レバー増幅付き曲げガイド ボールガイド エアベアリング

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返答時間

26.5時間

会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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