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A-110 PIglide エアベアリング付きリニアモーターステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

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X方向の移動範囲 (mm)

X方向の最大速度、無負荷時 (mm/秒)

真直度 (X方向伴うを伴うY方向線形クロストーク) (μm)

平坦度 (Z単位の線形クロストークとX単位の運動) (μm)

ピッチ(回転クロストーク(θY、運動はX) (μrad)

ヨー (θZ の回転クロストーク X の運動) (μrad)

X方向の位置決め精度、未校正 (μm)

センサー解像度 (nm)

公称電流 (A)

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Xの負の運動方向の駆動力 (N)

X方向の正の運動方向の駆動力 (N)

Xの負の運動方向のピーク力 (N)

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インダクタンス相間 (mH)

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アクティブ軸

×

X方向の加速、無負荷 (m/s²)

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X 方向の位置決め精度、校正済み (μm)

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センサー信号周期 (μm)

20

基準スイッチ

エンコーダインデックス

制限スイッチ

ホール効果

ドライブタイプ

アイアンレス3相リニアモーター

公称電圧 (V)

48

ピーク電圧 (V)

60

この製品について

■製品特徴

・スキャンアプリケーションや高精度位置決めに最適 ・クリーンルーム対応 ・モーションプラットフォームのサイズ160mm×200mm ・400mmまでの移動範囲 ・100Nまでの負荷容量

■製品概要

PIglideのステージには、プリロードされたエアベアリングと統合されたリニアエンコーダを備えたサーボドライブリニアモータが装備。これらの非接触コンポーネントの組み合わせにより、最高の性能、品質、寿命を提供する摩擦のないモーションプラットフォームが実現。 高力リニアモーターは、数ミリ秒以内にステージを最高速度まで駆動できます。プリロードされたエアベアリング構造は、任意の方向への取り付けをサポートします。

■応用分野

PIglideポジショニングシステムは、半導体やフラットパネルディスプレイ製造における計測、フォトニクス、精密スキャンなど、多くの高精度アプリケーションに最適。摩擦のない動きにより、粒子が形成されないため、PIglideステージはクリーンルームアプリケーションに最適。

■付属品とオプション

・エンコーダーエンコーダーエンコーダー ・PIglideフィルターと空気準備キット ・単軸および多軸動作制御装置 ・XYセットアップと個々の構成 ・花崗岩製のベースプレートと振動を低減するシステム

  • 型番

    A-110.300A1

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A-110 PIglide エアベアリング付きリニアモーターステージ A-110.300A1の性能表

商品画像 価格 (税抜) アクティブ軸 X方向の移動範囲 (mm) X方向の加速、無負荷 (m/s²) X方向の最大速度、無負荷時 (mm/秒) 真直度 (X方向伴うを伴うY方向線形クロストーク) (μm) 平坦度 (Z単位の線形クロストークとX単位の運動) (μm) ピッチ(回転クロストーク(θY、運動はX) (μrad) ヨー (θZ の回転クロストーク X の運動) (μrad) Xにおける双方向の再現性 (μm) X 方向の位置決め精度、校正済み (μm) X方向の位置決め精度、未校正 (μm) 統合センサー センサー信号 センサー解像度 (nm) センサー信号周期 (μm) 基準スイッチ 制限スイッチ ドライブタイプ 公称電圧 (V) ピーク電圧 (V) 公称電流 (A) ピーク電流 (A) Xの負の運動方向の駆動力 (N) X方向の正の運動方向の駆動力 (N) Xの負の運動方向のピーク力 (N) X方向の運動の正方向のピーク力 (N) 力定数 (N/A) 抵抗相間 (Ω) インダクタンス相間 (mH) 逆起電力位相-位相 (V·s/m)
A-110 PIglide エアベアリング付きリニアモーターステージ-品番-A-110.300A1 要見積もり × 300 20 1,000 1 1 ±17.5 ±17.5 0.1 0.5 3 インクリメンタルリニアエンコーダ Sin/cos、1Vピークピーク 4.88 20 エンコーダインデックス ホール効果 アイアンレス3相リニアモーター 48 60 3.2 6.9 39 39 85 85 12.3 3.6 1.24 10.1

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移動範囲 mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600

耐荷重 N

10 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 500

位置決め精度 μm

0 - 1 1 - 2 2 - 4 4 - 50 50 - 60

繰り返し精度 μm

0 - 1 1 - 10 10 - 11

ストローク mm

-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 800

ステージ高さ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300

駆動方式

リニアガイド ボーデンケーブル ラックアンドピニオン ウォームギア リニアモーター 親ねじ DCモータ ステッピングモーター ボールねじ サーボ制御

動作温度 ℃

-10 - 0 0 - 10 10 - 30 30 - 40

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この商品の取り扱い会社情報

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22.3時間

会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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