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A-110 PIglide エアベアリング付きリニアモーターステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

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22.3時間

X方向の移動範囲 (mm)

X方向の最大速度、無負荷時 (mm/秒)

真直度 (X方向伴うを伴うY方向線形クロストーク) (μm)

平坦度 (Z単位の線形クロストークとX単位の運動) (μm)

ピッチ(回転クロストーク(θY、運動はX) (μrad)

ヨー (θZ の回転クロストーク X の運動) (μrad)

X方向の位置決め精度、未校正 (μm)

センサー解像度 (nm)

公称電流 (A)

ピーク電流 (A)

Xの負の運動方向の駆動力 (N)

X方向の正の運動方向の駆動力 (N)

Xの負の運動方向のピーク力 (N)

X方向の運動の正方向のピーク力 (N)

力定数 (N/A)

抵抗相間 (Ω)

インダクタンス相間 (mH)

逆起電力位相-位相 (V·s/m)

全型番で同じ値の指標

アクティブ軸

×

X方向の加速、無負荷 (m/s²)

20

Xにおける双方向の再現性 (μm)

0.1

X 方向の位置決め精度、校正済み (μm)

0.5

センサー信号周期 (μm)

20

基準スイッチ

エンコーダインデックス

制限スイッチ

ホール効果

ドライブタイプ

アイアンレス3相リニアモーター

公称電圧 (V)

48

ピーク電圧 (V)

60

この製品について

■製品特徴

・スキャンアプリケーションや高精度位置決めに最適 ・クリーンルーム対応 ・モーションプラットフォームのサイズ160mm×200mm ・400mmまでの移動範囲 ・100Nまでの負荷容量

■製品概要

PIglideのステージには、プリロードされたエアベアリングと統合されたリニアエンコーダを備えたサーボドライブリニアモータが装備。これらの非接触コンポーネントの組み合わせにより、最高の性能、品質、寿命を提供する摩擦のないモーションプラットフォームが実現。 高力リニアモーターは、数ミリ秒以内にステージを最高速度まで駆動できます。プリロードされたエアベアリング構造は、任意の方向への取り付けをサポートします。

■応用分野

PIglideポジショニングシステムは、半導体やフラットパネルディスプレイ製造における計測、フォトニクス、精密スキャンなど、多くの高精度アプリケーションに最適。摩擦のない動きにより、粒子が形成されないため、PIglideステージはクリーンルームアプリケーションに最適。

■付属品とオプション

・エンコーダーエンコーダーエンコーダー ・PIglideフィルターと空気準備キット ・単軸および多軸動作制御装置 ・XYセットアップと個々の構成 ・花崗岩製のベースプレートと振動を低減するシステム

  • 型番

    A-110.100B1

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A-110 PIglide エアベアリング付きリニアモーターステージ A-110.100B1の性能表

商品画像 価格 (税抜) アクティブ軸 X方向の移動範囲 (mm) X方向の加速、無負荷 (m/s²) X方向の最大速度、無負荷時 (mm/秒) 真直度 (X方向伴うを伴うY方向線形クロストーク) (μm) 平坦度 (Z単位の線形クロストークとX単位の運動) (μm) ピッチ(回転クロストーク(θY、運動はX) (μrad) ヨー (θZ の回転クロストーク X の運動) (μrad) Xにおける双方向の再現性 (μm) X 方向の位置決め精度、校正済み (μm) X方向の位置決め精度、未校正 (μm) 統合センサー センサー信号 センサー解像度 (nm) ドライブタイプ 公称電圧 (V) ピーク電圧 (V) 公称電流 (A) ピーク電流 (A) Xの負の運動方向の駆動力 (N) X方向の正の運動方向の駆動力 (N) Xの負の運動方向のピーク力 (N) X方向の運動の正方向のピーク力 (N) 力定数 (N/A) 抵抗相間 (Ω) インダクタンス相間 (mH) 逆起電力位相-位相 (V·s/m)
A-110 PIglide エアベアリング付きリニアモーターステージ-品番-A-110.100B1 要見積もり × 100 20 1,000 0.75 0.75 ±10 ±10 0.1 0.5 1.5 アブソリュートリニアエンコーダ バイSS-C 1 アイアンレス3相リニアモーター 48 60 1.6 4.2 20 20 60 60 4.1 11 6 10

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移動範囲 mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600

耐荷重 N

10 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 500

位置決め精度 μm

0 - 1 1 - 2 2 - 4 4 - 50 50 - 60

繰り返し精度 μm

0 - 1 1 - 10 10 - 11

ストローク mm

-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 800

ステージ高さ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300

駆動方式

リニアガイド ボーデンケーブル ラックアンドピニオン ウォームギア リニアモーター 親ねじ DCモータ ステッピングモーター ボールねじ サーボ制御

動作温度 ℃

-10 - 0 0 - 10 10 - 30 30 - 40

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


返答時間

22.3時間

会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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