縦型ボート+断熱板ホルダー | セラミックス製品高純度、高強度、高耐食性炭化けい素セラミックス (TPSS)　写真提供: CoorsTek, Inc.®
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この製品について

高純度、高強度、高耐食性を兼ね備えた半導体製造プロセスに欠かせない半導体関連材料。

高純度炭化けい素を主成分とするTPSSは、クアーズテック社独自の技術により開発された半導体関連材料です。半導体熱処理炉用炉芯管をはじめ均熱管、ボート、フォークなどに応用されています。

■基本情報高純度炭化ケイ素を主成分とするTPSSはクアーズテック社独自の技術により開発された半導体関連材料です。TPSS製品は、高純度、高強度、高耐食性など数多くの特性をもっており、半導体熱処理炉用炉芯管をはじめ均熱管、ボート、フォークなどに応用されています。また、製品の表面にCVD法により超高純度で緻密な炭化ケイ素膜をコーティングしたグレードも提供しており、幅広いユーザーニーズに対応しています。特に精密加工技術を取り入れたウェーハボートには定評があり、300mmウェーハプロセスでの品質、歩留向上にも貢献しています。

■材料高純度反応焼結炭化ケイ素 TPSS

■特徴・高温から低温プロセスまで幅広いユーザーニーズに対応
・高純度、高強度、高耐食性
・高温での使用が可能 (～1,350℃) 
・パーティクル発生を抑制

■用途半導体製造プロセス関連製品 (炉芯管、均熱管、ボート、細管、断熱板、部品等) 

■納入実績・国内半導体デバイスメーカー
・国内半導体製造装置メーカー
・国内シリコンウェーハメーカー

型番
縦型ボート+断熱板ホルダー

シリーズ
セラミックス製品高純度、高強度、高耐食性炭化けい素セラミックス (TPSS)　写真提供: CoorsTek, Inc.®

取扱企業
株式会社渡辺商行

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物質種類

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形状

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ドーピング種

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