アルバックの真空ポンプ

油拡散ポンプから吸気側への油蒸気の逆流を抑えます。 ■特長 ・真空容器内を油拡散ポンプの蒸気汚染から守ります。 ・排気抵抗が極力少...

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ドライ真空ポンプCRシリーズVerBは、国際規格 (CE,cTUVus) を取得した空冷式ルーツ型のドライ真空ポンプです。排気室内には油を使用せず...

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スタンダードタイプ/2段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/プラグ付き電源コード/スイッチ付き ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格を実...

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スタンダードタイプ/2段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/プラグ付き電源 (スイッチ付き) コード ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格...

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スタンダードタイプ/2段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/プラグ付き電源コード / スイッチ付き ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格を...

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スタンダードタイプ/2段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/プラグ付き電源コード/スイッチ付き ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格を実...

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スタンダードタイプ/2段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/プラグ付き電源コード/スイッチ付き ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格を実...

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スタンダードタイプ/2段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/プラグ付き電源コード/スイッチ付き ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格を実...

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スタンダードタイプ/2段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/入力端子台付き (コードなし) ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格を実現し...

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スタンダードタイプ/2段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/プラグ付き電源 (スイッチ付き) コード ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格...

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スタンダードタイプ/2段排気方式/ロック保護・過電流保護機能付/DCモータ搭載 ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格を実現したドライ真空...

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スタンダードタイプ/2段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/モーターリード線圧着端子付き ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格を実現し...

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固定された渦巻き型の壁 (固定スクロール) に対面した渦巻き型の壁 (従動スクロール) が偏芯運動することによって真空排気をする真空ポ...

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ダブルラップタイプ/サーマルプロテクター内蔵 (単相用) /入力端子台付き (コードなし) ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ・ドラ...

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ダブルラップタイプ/サーマルプロテクター内蔵/入力端子台付き (コードなし) /スイッチ付き ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ・...

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シングルラップタイプ/サーマルプロテクター内蔵/入力端子台付き (コードなし) /スイッチ付き ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ...

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シングルラップタイプ/入力端子台付き (コードなし) ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ・高湿ガスに強い、真空ポンプ。 ・エアー...

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スタンダードタイプ/1段排気方式/サーマルプロテクター内蔵 ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ・接ガス部に油を使用していないド...

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スタンダードタイプ/1段排気方式/サーマルプロテクタ内蔵/電源コード (先バラ) ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ・接ガス部に油...

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スタンダードタイプ/1段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/入力端子台付き (コードなし) ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ・接...

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スタンダードタイプ/1段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/入力端子台付き (コードなし) ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ・接...

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スタンダードタイプ/2段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/電源コード (先バラ) ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ・接ガス部に...

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スタンダードタイプ/1段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/電源コード (先バラ) ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ・接ガス部に...

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加圧専用タイプ/1段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/電源コード (先バラ) ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ・接ガス部に油を...

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加熱して蒸気となった油をジェット部から超音速で噴射することによって真空排気する真空ポンプです。冷却水を必要としない空冷式です。 ...

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加熱して蒸気となった油をジェット部から超音速で噴射することによって真空排気する真空ポンプです。冷却水を必要としない空冷式です。 ...

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スタンダードタイプ/1段排気方式/入力端子台付き (コードなし) ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ・設備に合わせて吸排気口位置...

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スタンダードタイプ/1段排気方式/入力端子台付き (コードなし) ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ・設備に合わせて吸排気口位置...

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スタンダードタイプ/1段排気方式/入力端子台付き (コードなし) ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ・設備に合わせて吸排気口位置...

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スタンダードタイプ/1段排気方式/入力端子台付き (コードなし) ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ・設備に合わせて吸排気口位置...

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ECO-SHOCK (エコショック) は、現在ご使用のドライ真空ポンプに取り付けることによって、ドライポンプの大幅な省エネを可能にする画期的...

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ドライ真空ポンプGR シリーズは、実績と信頼のあるLR・HR シリーズを基に、一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。 ■特長...

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CPU搭載によるマルチ機能化されたスパッタイオンポンプコントロールです。 特長 ■小型・軽量 CPU搭載によるマルチ機能化。この1台で全...

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2段排気方式/逆流防止機構付き/ガスバラスト機構付き/サーマルプロテクター内蔵/スイッチ付き/入力端子 (コードなし) ■特長 ・オフィ...

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ポンプ本体を高温領域で均熱化することで、CVD、エッチング等で発生する昇華性排気物質を気体の状態で排出することが可能なポンプとなっ...

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ポンプ本体を低温領域で均熱化することで、PVDプロセスに加え、特にスループットを上げるために排気時間短縮が重要な仕込み取出し室の排...

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LSシリーズはスクリュー型ドライ真空ポンプに分類される真空ポンプです。従来、排気速度を大きくする為には多くの電力を消費していまし...

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■特長 ルーツ型真空ポンプの小型タイプです。補助ポンプの排気速度が減少する圧力領域で、排気速度の大幅アップが可能です。 ・DCブラシ...

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MSシリーズはスクリュー型ドライ真空ポンプに分類される真空ポンプです。従来のLSシリーズを基に、耐食性と粉体排出性を向上させた耐プ...

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ULVACのPBL型油拡散エゼクタポンプは、中真空領域で排気速度を上げることのできる拡散ポンプです。異物混入に強く、発売開始から長年ご...

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ULVACのPFL型油拡散ポンプは､長年の研究･豊富な製作経験を活かして､設計･製作されています｡ 22B～52B までの4機種をﾗｲﾝｱｯﾌﾟしています｡ ...

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PKSシリーズは､揺動ピストン型のベルト駆動式油回転真空ポンプです｡堅牢で排気特性の安定した油回転真空ポンプです｡ 金属･自動車産業を...

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大型のPMBシリーズは、ベルト駆動型による低速回転のメカニカルブースタポンプです。堅牢な揺動ピストン型油回転真空ポンプと組み合わせ...

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■汎用型のメカニカルブースターポンプ PMBシリーズVer.Dは汎用型のメカニカルブースターポンプです。オプションで表面処理や大気圧駆動...

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PRCシリーズは特にクリーン度を要求される半導体・液晶製造プロセスで使用することを主用途に設計されたメカニカルブースタポンプです。...

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スパッタされた活性チタンによるゲッター作用を利用した、超高真空領域での排気特性を強化したポンプです。新型素子と磁場の最適化を図...

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PVDシリーズは､ 回転翼型 (2段) のベルト駆動式油回転真空ポンプです｡長年に渡る信頼性と使いやすさから､多くのお客さまにご利用頂いて...

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■特長 ・ドライで油回転真空ポンプと同等の到達性能。 ・大気圧から到達まで全圧力帯で運転可能。 ・水蒸気に強い。 ・冷却水が不要。 ...

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6段排気方式/サーモスタット内蔵 ■特長 ・ドライで油回転真空ポンプと同等の到達性能。 ・大気圧から到達まで全圧力帯で運転可能。 ・...

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ドライポンプ専用サイレンサです。排気音を低減出来ます。 ■特長 ・優れた消音効果。 ・ポンプ排気口にクランプで接続可能です。

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■特長 ・各種真空装置に用いられる真空ポンプに使用可能なフィルターです。 ・真空側、排気側いずれにも設置可能です。 ・装置から排出...

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■特長 ・各種真空装置に用いられる真空ポンプに使用可能なフィルターです。 ・真空側、排気側いずれにも設置可能です。 ・装置から排出...

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油回転真空ポンプから排気される油煙を回収するトラップです。室内の設備・雰囲気を汚すことなく清浄な作業環境が得られます。 特長 ■...

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油回転真空ポンプから排気される油煙を回収するトラップです。室内の設備・雰囲気を汚すことなく清浄な作業環境が得られます。 特長 ■...

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油回転真空ポンプから排気される油煙を回収するトラップです。室内の設備・雰囲気を汚すことなく清浄な作業環境が得られます。 特長 ■...

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ULVACのULK型油拡散ポンプは、小型で臨界背圧を大きく設計している高真空排気ポンプです。研究用途から製造ラインまで幅広く活用されて...

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ポンプ本体を高温領域で均熱化することで、CVD、エッチング等で発生する昇華性排気物質を気体の状態で排出することが可能なポンプとなっ...

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磁気軸受を採用したコントローラ一体型ターボ分子ポンプです。ポンプ本体とコントローラの一体化により省配線、省スペースを実現しまし...

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磁気軸受を採用したコントローラ別置き型のターボ分子ポンプです。300～4,000L/sの排気速度を持った機種をラインアップ致しました。コン...

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セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。コントローラとポンプの一体化により省スペースを実現。優れた高背圧特性...

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VDシリーズ Ver.Cは、回転翼型 (2段) のダイレクト駆動式油回転真空ポンプです。​2段式の回転翼型構造により到達圧力が良く､最適化設計...

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VS1501/VS2401は回転翼型 (1段式) の油回転真空ポンプです。水冷と強制給油方式により高負荷でも安定した排気性能が得られます。 また、...

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VS300A-Wは、回転翼型 (1段式) の油回転真空ポンプです。クラス最小のフットプリントで、メカニカルブースタポンプの直乗せも可能となり...

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VS650B/VS750Bは回転翼型 (1段式) の油回転真空ポンプです。空冷/水冷の選択が出来る他、メカニカルブースタポンプの組み合わせで更に大...

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YTPシリーズ Ver.Bは、セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプを搭載した高真空排気ユニットです。大気圧から高真空までの排気が可能です。...

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セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプを搭載した、デスクトップ型の高真空排気ユニットです。デスクトップでの使用環境に配慮し、動作時...

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