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項目別
使用用途
#コーティング表面処理
#半導体電子部品
#分析実験室
到達真空度 Pa
0 - 0.01
排気速度 L/min
5,000 - 50,000
50,000 - 500,000
モータ出力 kW
10 - 30
質量 kg
10 - 50
200 - 1,000
騒音値 dB(A)
55 - 60
電源電圧 V
150 - 250
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