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項目別
使用用途
#産業用途
到達真空度 Pa
0 - 0.01
0.01 - 0.1
0.1 - 1
1 - 10
10 - 100
100 - 1,000
排気速度 L/min
500 - 5,000
5,000 - 50,000
50,000 - 500,000
500,000 - 5,000,000
モータ出力 kW
2 - 10
10 - 30
質量 kg
200 - 1,000
電源電圧 V
150 - 250
250 - 380
380 - 500
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7 点の製品
株式会社アルバック
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ポンプ本体を高温領域で均熱化することで、CVD、エッチング等で発生する昇華性排気物質を気体の状態で排出することが可能なポンプとなっ...
株式会社アルバック
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VS300A-Wは、回転翼型 (1段式) の油回転真空ポンプです。クラス最小のフットプリントで、メカニカルブースタポンプの直乗せも可能となり...
株式会社アルバック
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VS1501/VS2401は回転翼型 (1段式) の油回転真空ポンプです。水冷と強制給油方式により高負荷でも安定した排気性能が得られます。 また、...
株式会社アルバック
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VS650B/VS750Bは回転翼型 (1段式) の油回転真空ポンプです。空冷/水冷の選択が出来る他、メカニカルブースタポンプの組み合わせで更に大...
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PKSシリーズは、揺動ピストン型のベルト駆動式油回転真空ポンプです。堅牢で排気特性の安定した油回転真空ポンプです。 金属・自動車産業を...
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大型のPMBシリーズは、ベルト駆動型による低速回転のメカニカルブースタポンプです。堅牢な揺動ピストン型油回転真空ポンプと組み合わせ...
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ULVACのPFL型油拡散ポンプは、長年の研究・豊富な製作経験を活かして、設計・製作されています。 22B~52B までの4機種をラインアップしています。 ...
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