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項目別
到達真空度 Pa
0 - 0.01
0.01 - 0.1
0.1 - 1
1 - 10
10 - 100
排気速度 L/min
5,000 - 50,000
50,000 - 500,000
モータ出力 kW
10 - 30
質量 kg
200 - 1,000
電源電圧 V
150 - 250
250 - 380
380 - 500
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