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アルバックの真空ポンプ

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7 点の製品

株式会社アルバック

多段ルーツ型ドライ真空ポンプ UR

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ポンプ本体を高温領域で均熱化することで、CVD、エッチング等で発生する昇華性排気物質を気体の状態で排出することが可能なポンプとなっ...


株式会社アルバック

油回転真空ポンプ VS300A-W

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VS300A-Wは、回転翼型 (1段式) の油回転真空ポンプです。クラス最小のフットプリントで、メカニカルブースタポンプの直乗せも可能となり...


株式会社アルバック

油回転真空ポンプ VS650B / VS750B

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VS650B/VS750Bは回転翼型 (1段式) の油回転真空ポンプです。空冷/水冷の選択が出来る他、メカニカルブースタポンプの組み合わせで更に大...


株式会社アルバック

メカニカルブースタポンプ PRC

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PRCシリーズは特にクリーン度を要求される半導体・液晶製造プロセスで使用することを主用途に設計されたメカニカルブースタポンプです。...


株式会社アルバック

ターボ分子ポンプ UTM-MS

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磁気軸受を採用したコントローラ別置き型のターボ分子ポンプです。300~4,000L/sの排気速度を持った機種をラインアップ致しました。コン...


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ターボ分子ポンプ UTM-MI

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磁気軸受を採用したコントローラ一体型ターボ分子ポンプです。ポンプ本体とコントローラの一体化により省配線、省スペースを実現しまし...


株式会社アルバック

油拡散ポンプ ULK

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ULVACのULK型油拡散ポンプは、小型で臨界背圧を大きく設計している高真空排気ポンプです。研究用途から製造ラインまで幅広く活用されて...


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