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項目別
使用用途
#コーティング表面処理
#半導体電子部品
#分析実験室
到達真空度 Pa
0 - 0.01
0.01 - 0.1
0.1 - 1
1 - 10
10 - 100
100 - 1,000
排気速度 L/min
500 - 5,000
5,000 - 50,000
50,000 - 500,000
モータ出力 kW
0.5 - 2
2 - 10
10 - 30
質量 kg
0 - 10
10 - 50
50 - 200
200 - 1,000
騒音値 dB(A)
55 - 60
60 - 65
電源電圧 V
150 - 250
250 - 380
380 - 500
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7 点の製品
株式会社アルバック
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ポンプ本体を高温領域で均熱化することで、CVD、エッチング等で発生する昇華性排気物質を気体の状態で排出することが可能なポンプとなっ...
株式会社アルバック
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VS300A-Wは、回転翼型 (1段式) の油回転真空ポンプです。クラス最小のフットプリントで、メカニカルブースタポンプの直乗せも可能となり...
株式会社アルバック
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VS650B/VS750Bは回転翼型 (1段式) の油回転真空ポンプです。空冷/水冷の選択が出来る他、メカニカルブースタポンプの組み合わせで更に大...
株式会社アルバック
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PRCシリーズは特にクリーン度を要求される半導体・液晶製造プロセスで使用することを主用途に設計されたメカニカルブースタポンプです。...
株式会社アルバック
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磁気軸受を採用したコントローラ別置き型のターボ分子ポンプです。300~4,000L/sの排気速度を持った機種をラインアップ致しました。コン...
株式会社アルバック
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磁気軸受を採用したコントローラ一体型ターボ分子ポンプです。ポンプ本体とコントローラの一体化により省配線、省スペースを実現しまし...
株式会社アルバック
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ULVACのULK型油拡散ポンプは、小型で臨界背圧を大きく設計している高真空排気ポンプです。研究用途から製造ラインまで幅広く活用されて...
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