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■概要 PlasmaPro 100 ALE原子層エッチングシステムにより、次世代半導体デバイスのエッチングを正確にコントロールすることが可能になり...
オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社
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PlasmaPro 100 RIE モジュールにより、広範なプロセスに対応した等方性・異方性ドライエッチングが実現します。研究および製造のお客様...
オックスフォード・インストゥルメンツのエッチング装置2製品中の注目ランキング
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