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アルバック販売のエッチング装置

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5 点の製品

アルバック販売株式会社

量産用ドライエッチング装置 NE-5700/NE-7800

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■概要 量産用ドライエッチング装置NE-5700/NE-7800は、1チャンバーからマルチチャンバーに対応し、コストパフォーマンスを重視した拡張...


アルバック販売株式会社

オプトデバイス、MEMS向け ドライエッチング装置 NLD-5700

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■概要 オプトデバイス、MEMS向けドライエッチング装置NLD-5700は、磁気中性線プラズマ (NLD) 源を搭載した量産用ドライエッチング装置で...


アルバック販売株式会社

研究開発向けNLDドライエッチング装置 NLD-570

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■概要 研究開発向けNLDドライエッチングNLD-570は、アルバックが独自に開発した磁気中性線プラズマ (NLD) による低圧・低電子温度・高密...


アルバック販売株式会社

研究開発向け 高密度プラズマエッチング装置 NE-550EX

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■概要 研究開発向け高密度プラズマエッチング装置NE-550EXは、有磁場ICP (ISM=Inductively Super Magnetron) 方式の高密度プラズマエッ...


アルバック販売株式会社

高密度プラズマドライエッチング装置 ULHITETM NE-7800H

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■概要 高密度プラズマドライエッチング装置ULHITETM NE-7800HはFeRAM、MRAM、ReRAM、PCRAMなどに用いられる難エッチング材料 (強誘電体...


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