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アルバック販売のプラズマエッチング装置

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2 点の製品

アルバック販売株式会社

研究開発向けNLDドライエッチング装置 NLD-570

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■概要 研究開発向けNLDドライエッチングNLD-570は、アルバックが独自に開発した磁気中性線プラズマ (NLD) による低圧・低電子温度・高密...


アルバック販売株式会社

研究開発向け 高密度プラズマエッチング装置 NE-550EX

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■概要 研究開発向け高密度プラズマエッチング装置NE-550EXは、有磁場ICP (ISM=Inductively Super Magnetron) 方式の高密度プラズマエッ...


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