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アルバック販売株式会社
研究開発向け 高密度プラズマエッチング装置 NE-550EX
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■概要 研究開発向け高密度プラズマエッチング装置NE-550EXは、有磁場ICP (ISM=Inductively Super Magnetron) 方式の高密度プラズマエッチング装置、枚葉式でL...
アルバック販売株式会社
高密度プラズマドライエッチング装置 ULHITETM NE-7800H
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■概要 高密度プラズマドライエッチング装置ULHITETM NE-7800HはFeRAM、MRAM、ReRAM、PCRAMなどに用いられる難エッチング材料 (強誘電体、貴金属、磁性膜等) ...
