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分析・計測機器 表面分析装置 四重極型二次イオン質量分析装置 (D-SIMS) PHI ADEPT-1010-アルバック販売株式会社

アルバック販売株式会社

分析・計測機器 表面分析装置 四重極型二次イオン質量分析装置 (D-SIMS) PHI ADEPT-1010

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■概要 二次イオン質量分析法 (SIMS：Secondary Ion Mass Spectrometry) は試料にイオンを照射し、試料から放出される二次イオンを質量分析することによって、...


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