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キヤノンアネルバの成膜装置

16 点の製品がみつかりました

16 点の製品

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キヤノンアネルバ株式会社

バッチ/ロードロック 研究開発用スパッタリング装置 EB1000

10人以上が見ています

最新の閲覧: 16時間前

コンパクト、省スペース、多様なオプション設定で研究開発の様々な用途に対応するスパッタリング装置です。 研究開発分野のスパッタリング装置は特に材料開...


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キヤノンアネルバ株式会社

バッチ/ロードロック 研究開発・小規模生産用スパッタリング装置 EB1100

10人以上が見ています

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ロードロックを標準装備し、多様なオプション設定で研究開発の様々な用途に対応するスパッタリング装置です。 豊富な実績を通じて培ってきた当社の真空技術...


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キヤノンアネルバ株式会社

クラスター 小規模生産用スパッタリング装置 EC7000シリーズ

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10段のロードロックストッカーを装備し、多様なオプション設定で研究開発~少量生産に対応するスパッタリング装置です。 豊富な実績を通じて培ってきた当社...


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キヤノンアネルバ株式会社

クラスター 電子部品生産用スパッタリング装置 EC7400

オフセット自動スパッタ、オフセット自公転スパッタなど用途に応じた様々なモジュールを搭載可能なスパッタリング装置です。 半導体製造装置・ディスク製造...


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キヤノンアネルバ株式会社

クラスター MRAM用スパッタリング装置 EC7800

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MJT素子形成のための優れた膜厚均一性と極薄膜の多層薄膜を可能にする研究開発~少量生産向けスパッタリング装置です。 ハードディスク磁気ヘッドのGMRヘッ...


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キヤノンアネルバ株式会社

クラスター LED生産用スパッタリング装置 EC8100

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多数枚基盤処理で、小型基盤を用いる電子部品分野に最適なトレイ搬送式のクラスタースパッタリング装置です。 LED等の小型基板を用いる分野での生産に最適な...


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キヤノンアネルバ株式会社

インライン LED生産用スパッタリング装置 EL3000シリーズ

最新の閲覧: 18時間前

成膜有効エリアが広いため、小型基板の多数枚処理に適し、用途や生産量に応じて様々なカスタマイズが可能なスパッタリング装置です。 多数枚バッチ処理方式...


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キヤノンアネルバ株式会社

インライン 電子部品生産用インライン式スパッタリング装置 EL3200

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ロード、アンロードロックストッカーを装備し、用途や生産量に応じてデポUPまたはDOWN、両面成膜を選択できるスパッタリング装置です。 角型トレイを1枚ずつ...


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キヤノンアネルバ株式会社

インライン 高密度実装向けスパッタリング装置 EL3400

高密度実装に求められる様々な基盤へのパッケージング (PLP、WLP) 配線に対応するスパッタリング装置です。 インターポーザー、Fan-Outなど次世代の高密度実...


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キヤノンアネルバ株式会社

クラスター メタルゲート形成用スパッタリング装置 FC7100

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最新の閲覧: 2時間前

斜め入射回転スパッタ方式による優れた膜厚均一性とナノレベルの膜厚制御が可能なスパッタリング装置です。 当社独自のスパッタリング技術によるダメージレ...


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キヤノンアネルバ株式会社

クラスター 磁気ヘッド用スパッタリング装置 HC7100

最新の閲覧: 2時間前

ハードディスクの磁気ヘッド、磁気センサーなどの磁性体多層薄膜を優れた膜厚均一性で形成するスパッタリング装置です。 HC7100はGMRヘッド、トンネル効果を...


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キヤノンアネルバ株式会社

スパッタリング装置 クラスター 磁気ヘッド用成膜加工装置 HC7300

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IBM Millingから各種成膜までを一貫処理するハードディスクの磁気ヘッド向けスパッタリング装置です。 磁気ヘッドの各プロセスを一挙に集約。キヤノンアネル...


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キヤノンアネルバ株式会社

クラスター メモリ配線用スパッタリング装置 IC7200

半導体配線向け200mmスパッタリング装置です。カソードにはボトムカバレッジと埋め込み性に優れたPCMカソードも選択可能です。 主に半導体メモリで使用する...


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キヤノンアネルバ株式会社

クラスター メモリ配線用スパッタリング装置 IC7500

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半導体配線向け300mmスパッタリング装置です。カソードにはボトムカバレッジと埋め込み性に優れたPCMカソードも選択可能です。 主に半導体メモリで使用する...


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キヤノンアネルバ株式会社

インライン ディスクスパッタリング装置 ML3000シリーズ

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高速搬送、高成膜レート、生産規模に応じた構成に拡張可能なハードディスクの磁気ディスク向けスパッタリング装置です。 HDDのキーコンポーネントである磁気...


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キヤノンアネルバ株式会社

クラスター MRAM用スパッタリング装置 NC7900

最新の閲覧: 2時間前

MTJ素子形成のための優れた膜圧均一性と極薄膜の多層薄膜を可能にする量産向けスパッタリング装置です。 不揮発メモリー (NVM) として注目されているMRAM用...


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