クリーンルーム用品とは
クリーンルーム用品とは、空気清浄度を担保されたクリーンルームで用いられる物品のことです。
半導体関連製品は、わずかな塵の混入で致命的な製品欠陥が生じます。バイオの研究では、わずかな細菌などの混入で研究結果に大きな影響が生じます。そのような異物の侵入を徹底的に阻害するためにクリーンルームが使用されます。
クリーンルーム用品の種類
異物を排除するように設計されていクリーンルームの清浄な環境を維持するために、様々なツールが導入されています。
1. クリーンロッカー
オゾン、紫外線などによる殺菌・脱臭で収容した衣類や靴などを衛生的に保管できるロッカーです。
2. クリーンウェア
クリーンルームに白衣など外気にふれた衣服で入ると、付着している塵が室内に入るため、クリーンルームに入る前に使い捨てのクリーンウェアを着用します。
3. クリーンルーム用掃除機
クリーンルーム内は無塵に近い環境ですが、月日が経つにつれて埃などが発生するため、クリーンルーム用掃除機を使って掃除をします。吸気した空気を何重にも濾過することで再度のコンタミネーションを防ぐ構造になっています。
4. パスボックス
外部からクリーンルームにマテリアルを持ち込む際には、付着した異物を持ち込まないため、一度ボックスに入れて処理したのちに中に入れます。このボックスをパスボックスと呼びます。このパスボックスの中では、塵の吸引、UV照射など対象を清浄にする処理が施されます。
5. ネットキャップ
クリーンウェアのフードを被っただけでは、フードの隙間から髪の毛が落ちてしまうため、使い捨てのクリーンウェアのネットキャップを被り、髪の毛の混入を防ぎます。
6. クリーンテープ
クリーンテープとは、クリーンルーム内での使用に適した接着テープです。一般的なテープは芯などから発塵しますが、クリーンテープはプラスチックの芯で発塵が抑えられています。
7. クリーンルームシューズ
クリーンルーム専用の履き替え靴です。塵などが生じないように縫い目などの隙間や飛び出した構造が一切ない構造になっています。種類によってはオートクレーブによる消毒、殺菌処理も可能です。
8. クリーンルーム用ウエス
クリーンルーム内で使用することができる布です。代表的なものがキムワイプです。不織布など、発塵が少ない素材からできていることが多いです。
9. クリーンフード
クリーンフードは、吸気機構付きの作業設備のことです。クリーンルーム内で作業する際には、生じた塵やエアロゾルが作業台以外の場所に飛び出さないように、常に作業場が負圧になっている必要があるため、クリーンフードによって調整します。