非接触厚さ段差測定装置 THS-10
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この製品について

■特徴・非接触で微小箇所の厚さが測定できます。
・数ミクロンから10mmまでの厚さが測定できます。
・X.Y.Zの測定が簡単にできます。
・マニュアルタイプで上下光学系のZ軸移動を手動で行い、モニタ上で厚さ測定 (測定分解能1μm) を行います。

■厚さ測定原理THSの厚さ測定原理は、顕微鏡光学系に2系統のターゲットマーク方式によるプリサイス・フォーカスユニットを配置したユニオン光学の独創的な光学理論によって成立っています。このプリサイス・フォーカスユニットには、ターゲット・マークが内蔵され、合焦点位置ではこのターゲットマークがモニタ上に鮮明に映し出されます。

ここで重要な点は、被検物のない状態でも、このターゲット・マークが、対物レンズの合焦位置 (空中位置) で結像し、その像 (ターゲット・マーク) を他方の対物レンズを有する光学系で確認できることです。THSはこの特性を利用し、上下にプリサイス・フォーカスユニットを備えた光学系を配置し、ターゲット・マークにより厚さのゼロ位置を設定しています。即ち、被検物のない状態で、上対物レンズで下プリサイス・フォーカスユニットのターゲット・マークが確認できた位置においては、同時に上プリサイス・フォーカスユニットのターゲットマークが下対物レンズで確認できます。

一方、上・下に配置したプリサイス・フォーカスユニット光学系は、下側光学系を上下 (Z) 移動させると上側光学系もそれに追従し、又、上側光学系だけ単独で合焦が出来る機構になっています。このメカ機構と2系統のプリサイス・フォーカスユニットの特性を結合させることにより、精密な光学式非接触 (厚さ) 測定が可能となりました。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
非接触厚さ段差測定装置 THS-10

取扱企業
ユニオン光学株式会社

カテゴリ

メーター・計測機器

厚み測定器

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非接触厚さ段差測定装置 THS-10 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	測定範囲	測定領域	測定分解能	厚さ及び段差測定	測定ステージ	THS本体
	THS-10	要見積もり	X:100mmY:100mm	φ40μm以上	1μm	リニヤゲージにより、最小読取1μm	マニュアル移動。X・Y座標読取は、リニヤスケールにより、最小読取1μm	上下の光学系のZ移動は手動で行い、上下各々のターゲットマークの合致をモニタ上で確認