クライオポンプ CRYO-Uシリーズ
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この製品について

■概要アルバック・クライオは、エレクトロニクス、光学、太陽エネルギー、核融合、宇宙開発ほか、各方面に数多くご使用いただき、実績を積み重ねてまいりました。4インチから30インチ口径までの標準機種を取り揃えています。

■用途・真空蒸着装置
・核融合装置
・スパッタリング装置
・表面分析装置
・イオン注入装置
・スペースチャンバ
・半導体プロセス装置
・加速器
・その他清浄な高真空、極高真空が要求される装置

■特長・他のポンプでは得られないクリーンな真空が得られます。
・すべての気体の排気ができます。
・液体窒素が不要なので安いランニングコストでご使用いただけます。
・どのような方向にも取付けられます。
・コンパクトなデザインで軽量です。
・操作が簡単です。
・イオンポンプやターボ分子ポンプにくらべて大きな排気速度が得られます。

■幅広い用途に・スパッタ装置用に大排気容量型
・エッチング、CVD装置などのために耐食性型
・極高真空用にベーカブルタイプ
・分析機器、実験装置などのために低振動型

■その他さらに、バンドヒータ、ノイズに強いクライオ温度計、水分の多い場合の排気にスーパートラップ、自動再生装置など豊富なオプションを揃えております。なお、お客様の重要な生産ラインに組み込まれることをふまえて、全国30カ所以上のサービス拠点よりニーズに即応できるサービス体制を敷いて、ご満足いただ けるよう心がけております。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
クライオポンプ CRYO-Uシリーズ

取扱企業
アルバック販売株式会社

カテゴリ

ポンプ

真空ポンプ

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クライオポンプ CRYO-Uシリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	排気速度 (20℃)	到達圧力	最大流量	排気容量	冷却降下時間 (電力サイクル)	吸気口フランジ	コンプレッサユニット (水冷)	質量
	CRYO-U4H	要見積もり	窒素：450L/s 水素：500L/s アルゴン：370L/s 水：1,100L/s	10^-7 Pa	アルゴン：1.3×10^3 Pa・L/s	アルゴン：1.0×10^7 Pa・L 水素：1.5×10^5 Pa・L	50Hz：45min 60Hz：40min	ISO-K,DN100	C10	14.5 kg