スパッタイオンポンプコントローラ GST-07L Ver.B-GST-07L Ver.B

スパッタイオンポンプコントローラ GST-07L Ver.B
アルバック販売株式会社

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この製品について

■概要GST-07L-Bは、ULVACがこれまで培ってきた超高真空分野での豊富な技術力と実績により高機能・高信頼性を実現したスパッタイオンポンプコントロールです。

■用途・加速器
・電子顕微鏡
・分析機器

■小型・軽量CPU搭載によるマルチ機能化。この1台で全てのスパッタイオンポンプ (PSTシリーズ) の制御が可能。

■通信機器標準装備外部通信制御機能が標準装備されているので、遠隔操作・自動化運転が可能。

■XHV対応自動起動回路およびソフトスタート機能搭載により、ポンプセルの汚染を最小限に抑えることが可能。 (→特許第1340297号他出願中) 

■安全機能向上操作スイッチの誤操作防止機能および各種保護用インターロック機能搭載。耐熱・耐寒および電気特性に優れたハイフロンフッ素樹脂高圧ケーブルの採用。特定有害物質の使用制限 (RoHS指令) 対応。CEマーキング対応。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
スパッタイオンポンプコントローラ GST-07L Ver.B

取扱企業
アルバック販売株式会社

カテゴリ

半導体製造

イオン注入装置

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フォームを経由し、非常にわかりやすくスムーズなお問い合わせのご対応をいただけました。誠にありがとうございます。

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スパッタイオンポンプコントローラ GST-07L Ver.B 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	組合せポンプ	動作圧力	表示方法	表示内容	出力電流表示	出力電圧表示	圧力表示	出力開放電圧	出力電流	入力電圧・電流	MONITOR端子出力信号	圧力セットポイント	REMOTE/LOCAL	保護機能	温度範囲	湿度範囲	質量	外形寸法 WxHxD	付属品
	GST-07L Ver.B	要見積もり	アクターポンプ (全てのPSTシリーズ)	10^-2 to 10^-4Pa以下	デジタル表示 (7セグメントLED表示)	デジタル表示 (7セグメントLED表示)	mA.μAの2レンジ自動切換え (LINEAR表示)	DC0.0~7.5kV (HまたはL) (1レンジLINEAR表示)	Pa,mbr (1×10^-8~1×10^-2Pa) (1×10^-10~1×10^-4mbar)	DC+7.5kV (パネル面スイッチによりH.Lの2点設定切り換え H.Lの設定電圧は約1.0~7.5kVボリューム可変)	DC31mA以下	AC100~115V±10% • 50/60Hz • 3.0A AC200~240V±10% • 50/60Hz • 1.5A	パネル7セグメント表示に比例した信号を出力各レンジDC0~10V F.S. 100kΩ以上	2点	前面パネルスイッチにより切替	エラー表示/各種保護機能搭載表示点灯で高電圧 (HV) 出力遮断 (ERR 0~8) スタートアップ保護用タイマー設定 (1~255分で可変) 停電後自動復帰可能 (HV-HOLDスイッチ操作)	0~40℃	85%以下 (結露無し)	本体：約4kg	W240×H99×D370mm (ラック取付金具除く)	入力ケーブル3m