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ドライ真空ポンプ GRシリーズ-GR60A 50Hz仕様
ドライ真空ポンプ GRシリーズ-アルバック販売株式会社

ドライ真空ポンプ GRシリーズ
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この製品について

■概要

ドライ真空ポンプGR シリーズは、実績と信頼のあるLR・HR シリーズを基に、一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。

■用途

・エアー、不活性ガスなどのクリーンな気体の真空排気 ・各種成膜装置の仕込取出室の排気 ・真空乾燥や真空ガス置換、真空脱泡などの一般産業用途 ・真空断熱やガス充填などの真空ガス置換

■特徴

・大気〜真空の繰り返し排気や高圧力領域での連続運転などの高負荷用途に使用可能 ・高スループットを求めるロードロック室 (仕込取出室) の排気に最適 ・汎用インダクションモータに対応 ・防爆モータなどの特殊モータの取り付けが可能 (オプション) ・マルチ電圧対応モータを採用 *ご注文時に200V級モータとマルチ電圧モータから選定ください (GR180Aは共通モータ)

  • シリーズ

    ドライ真空ポンプ GRシリーズ

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ドライ真空ポンプ GRシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 最大排気速度 到達圧力 最大排気圧力 (吸入圧力) 最大排気口圧力 (排出圧力) 吸気口 (CE仕様) 排気口 DRP表面処理 質量 冷却水一次供給圧力 冷却水出入口差圧 冷却水温度 冷却水流量 一次側供給圧力pressure 二次側調整圧力*3 軸
ドライ真空ポンプ GRシリーズ-品番-GR60A 50Hz仕様

GR60A 50Hz仕様

要見積もり

m3/h:62
L/min:1,030
cfm:36.4

5.0Pa *1
3.7x10-2Torr *1
5.0x10-2mbar *1
*1 到達圧力は、窒素ガス (軸シールガス) が、5.0SLMの時の値です。

大気圧

1Pa~大気圧
7.5x10-3Pa~大気圧
1.0x10-2mbar~大気圧

VG50 or ISO63F

NW40

○

128kg

0.1~0.3MPa
14.5~43.5psi

>0.1MPa
>14.5psi

10~30℃ *2
50~86℃
*2 結露しないこと。

>5.0L/m

0.1~0.5MPa
14.5~72.5psi

0.05~0.1MPa (運転時)
7.3 to 14.5psi
*3 レギュレータで調整する圧力計の値です。

5SLM *4
*4 窒素ガス (軸シールガス) の流量は、5.0SLM 固定です。

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会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック（神奈川県）のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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