ドライ真空ポンプ GRシリーズ
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この製品について

■概要ドライ真空ポンプGR シリーズは、実績と信頼のあるLR・HR シリーズを基に、一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。

■用途・エアー、不活性ガスなどのクリーンな気体の真空排気
・各種成膜装置の仕込取出室の排気
・真空乾燥や真空ガス置換、真空脱泡などの一般産業用途
・真空断熱やガス充填などの真空ガス置換

■特徴・大気〜真空の繰り返し排気や高圧力領域での連続運転などの高負荷用途に使用可能
・高スループットを求めるロードロック室 (仕込取出室) の排気に最適
・汎用インダクションモータに対応
・防爆モータなどの特殊モータの取り付けが可能 (オプション) 
・マルチ電圧対応モータを採用
*ご注文時に200V級モータとマルチ電圧モータから選定ください (GR180Aは共通モータ) 

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
ドライ真空ポンプ GRシリーズ

取扱企業
アルバック販売株式会社

カテゴリ

ポンプ

真空ポンプ

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ドライ真空ポンプ GRシリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	最大排気速度	到達圧力	最大排気圧力 (吸入圧力)	最大排気口圧力 (排出圧力)	吸気口 (CE仕様)	排気口	DRP表面処理	質量	冷却水一次供給圧力	冷却水出入口差圧	冷却水温度	冷却水流量	一次側供給圧力pressure	二次側調整圧力*3	軸
	GR60A 50Hz仕様	要見積もり	m3/h:62 L/min:1,030 cfm:36.4	5.0Pa 1 3.7x10-2Torr 1 5.0x10-2mbar 1 1 到達圧力は、窒素ガス (軸シールガス) が、5.0SLMの時の値です。	大気圧	1Pa~大気圧 7.5x10-3Pa~大気圧 1.0x10-2mbar~大気圧	VG50 or ISO63F	NW40	○	128kg	0.1~0.3MPa 14.5~43.5psi	>0.1MPa >14.5psi	10~30℃ 2 50~86℃ 2 結露しないこと。	>5.0L/m	0.1~0.5MPa 14.5~72.5psi	0.05~0.1MPa (運転時) 7.3 to 14.5psi *3 レギュレータで調整する圧力計の値です。	5SLM 4 4 窒素ガス (軸シールガス) の流量は、5.0SLM 固定です。