UR シリーズ
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この製品について

■概要ドライ真空ポンプLR/HR/URシリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、エッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCKとのコンビネーションで最大約80%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種CE対応可能 (オプション) としました。

■用途・活性ガス (CVD、ドライエッチング等) 
・不活性ガス排気 (スパッタリング,蒸着，熱処理等) 
・仕込み取り出し室の排気時間短縮 (LRシリーズ) 
・粉体の発生するプロセスでの排気 (Si単結晶引き上げ等) 
・補助排気ポンプとして (ターボ分子ポンプ、メカニカルブースタポンプの補助排気) 

■特徴・1,000msec以内の瞬停対策
・CE対応可能 (オプション) 

■LRシリーズ：低温領域で均熱化不活性ガス排気に加え、特にスループットを上げるために排気時間短縮が重要な仕込み取り出し室の排気に最適

■HRシリーズ/URシリーズ：高温領域で均熱化CVD、エッチング等で発生する昇華性排気物質を気体の状態で排出することが可能

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
ドライ真空ポンプ LR/HR/UR シリーズ

取扱企業
アルバック販売株式会社

カテゴリ

ポンプ

真空ポンプ

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ドライ真空ポンプ LR/HR/UR シリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	使用ポンプ DRP	最大排気速度 (m3/h)	最大排気速度 (L/min)	到達圧力 (Pa)	最大排気圧力 (吸入圧力)	最大排気口圧力 (排出圧力)	吸気口 (CE仕様)	排気口	ドライポンプ表面処理	質量 (kg)	電力三相 VAC (Hz)	電流値 (A)	冷却水一次圧力 (MPa)	冷却水出入口差圧 (MPa)	冷却水流量 (L/min)	パージガス (MPa)	N2パージ軸 (SLM)	N2パージガスバラ (SLM)
	LR/HR60	要見積もり	LR/HR60	50Hz:62 60Hz:80	50Hz:1,030 60Hz:1,333	5	大気圧	1Pa~大気圧	VG50 (KF40)	KF40	○	180	200 (50/60) , 220 (60)	定常時:6.9/7.1 最大値:7.0/7.3	0.1 to 0.3	>0.1	>5.0	一次圧力:0.1~0.5 二次圧力:0.05~0.1	5	0~45