ドライ真空ポンプ LSシリーズ
アルバック販売株式会社
この製品について
■概要
高速排気と低消費電力を両立したドライ真空ポンプです。 4機種をラインアップし、装置の大きさや使用条件に合わせて最適な排気容量のポンプを選択できます。■高速排気
大気圧付近の排気速度が大きく、排気時間の短縮が可能■低消費電力
・ECO-SHOCK技術により、低消費電力を実現 (C仕様) ・到達圧力時の消費電力は0.6kW以下 (LS120A-C)■低騒音
・専用サイレンサーを標準搭載 ・到達圧力時の騒音値は61dB (A) 以下■ランニングコスト低減
従来必要だった軸シールガスが不要 ※L仕様はパージガスを流す事が可能■全4機種をラインアップ
・排気速度120～1,200m3/hクラス ※メカニカルブースターポンプとの組合せ ・用途に応じて最適な排気容量の機種選択が可能-
シリーズ
ドライ真空ポンプ LSシリーズ
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取扱企業
アルバック販売株式会社
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ドライ真空ポンプ LSシリーズ 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 型名 | 特徴 | 用途 |
|---|---|---|---|---|---|
|
|
LS***A-C |
要見積もり | C仕様 クリーンプロセス | ECO-SHOCK内蔵の低消費電力タイプ |
・エアー排気やN2排気等のクリーン排気向け ・スパッタリング/蒸着/貼り合せ/ロードロック室/TMP補助 等々 |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
