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ドライ真空ポンプ LSシリーズ-LS***A-C
ドライ真空ポンプ LSシリーズ-アルバック販売株式会社

ドライ真空ポンプ LSシリーズ
アルバック販売株式会社

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■概要

高速排気と低消費電力を両立したドライ真空ポンプです。 4機種をラインアップし、装置の大きさや使用条件に合わせて最適な排気容量のポンプを選択できます。

■高速排気

大気圧付近の排気速度が大きく、排気時間の短縮が可能

■低消費電力

・ECO-SHOCK技術により、低消費電力を実現 (C仕様) ・到達圧力時の消費電力は0.6kW以下 (LS120A-C)

■低騒音

・専用サイレンサーを標準搭載 ・到達圧力時の騒音値は61dB (A) 以下

■ランニングコスト低減

従来必要だった軸シールガスが不要 ※L仕様はパージガスを流す事が可能

■全4機種をラインアップ

・排気速度120~1,200m3/hクラス ※メカニカルブースターポンプとの組合せ ・用途に応じて最適な排気容量の機種選択が可能

  • シリーズ

    ドライ真空ポンプ LSシリーズ

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ドライ真空ポンプ LSシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 型名 特徴 用途
ドライ真空ポンプ LSシリーズ-品番-LS***A-C

LS***A-C

要見積もり

C仕様 クリーンプロセス

ECO-SHOCK内蔵の低消費電力タイプ

・エアー排気やN2排気等のクリーン排気向け
・スパッタリング/蒸着/貼り合せ/ロードロック室/TMP補助 等々

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会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック(神奈川県)のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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  • 本社所在地: 東京都
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