研究開発用中電流イオン注入装置 IMX-3500
アルバック販売株式会社
この製品について
■概要
中電流イオン注入装置IMX-3500は、最大エネルギ200kV、ウェーハサイズ8インチまでの、イオン注入装置で、大学等での研究開発に最適です。■特長
・最大ウェーハサイズ8インチで、不定形基板にも対応したプラテンを搭載しています。 ・イオン源は、ガスソースの他、B、P、Asイオンを、安全上の取扱が容易な、固体蒸発源も使用することができます。 ・HVターミナル部分は、量産装置と同じ構成になっており、高い信頼性を確保しています。-
シリーズ
研究開発用中電流イオン注入装置 IMX-3500
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取扱企業
アルバック販売株式会社
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カテゴリ
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研究開発用中電流イオン注入装置 IMX-3500 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | エネルギ | 最大ビーム電流 | 最小ビーム電流 | イオン種 |
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IMX-3500 |
要見積もり | 30~200keV (オプションで3~200keV対応) |
11B+400μA (200keV) 31P+600μA (200keV) |
150nA | B、P、As、Si、Ge、Sb、In 他 |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
