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シリーズ
研究開発用中電流イオン注入装置 IMX-3500取扱企業
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イオン注入装置の製品7点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | エネルギ | 最大ビーム電流 | 最小ビーム電流 | イオン種 |
---|---|---|---|---|---|---|
IMX-3500 |
要見積もり |
30~200keV (オプションで3~200keV対応) |
11B+400μA (200keV) |
150nA |
B、P、As、Si、Ge、Sb、In 他 |