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SiC用高温イオン注入装置 IH-860DSIC-IH-860DSIC
SiC用高温イオン注入装置 IH-860DSIC-アルバック販売株式会社

SiC用高温イオン注入装置 IH-860DSIC
アルバック販売株式会社

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■概要

高温ESCを搭載したSiC量産用高エネルギーイオン注入装置です。

■用途

SiC向けイオン注入装置

■特長

・自動連続高温処理注入が可能 ・1価イオンで350keV、2価イオンで700keVまでの注入が可能 (オプションで1価イオンで430keV、2価イオンで860keVまで対応) ・デュアルエンドステーションにて高スループットを実現 (A系4"高温ESC/B系3"高温ESC、A系6"高温ESC/B系6"常温ESC等、お客様の希望に合わせた仕様構築が可能) ・チェーン注入可能なため、オペレータの負荷軽減 ・コンパクト設計 ・試作から量産まで幅広く対応可能

  • シリーズ

    SiC用高温イオン注入装置 IH-860DSIC

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SiC用高温イオン注入装置 IH-860DSIC 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜)
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IH-860DSIC

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック(神奈川県)のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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  • 本社所在地: 東京都

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