SiC用高温イオン注入装置 IH-860DSIC
アルバック販売株式会社
この製品について
■概要
高温ESCを搭載したSiC量産用高エネルギーイオン注入装置です。■用途
SiC向けイオン注入装置■特長
・自動連続高温処理注入が可能 ・1価イオンで350keV、2価イオンで700keVまでの注入が可能 (オプションで1価イオンで430keV、2価イオンで860keVまで対応) ・デュアルエンドステーションにて高スループットを実現 (A系4"高温ESC/B系3"高温ESC、A系6"高温ESC/B系6"常温ESC等、お客様の希望に合わせた仕様構築が可能) ・チェーン注入可能なため、オペレータの負荷軽減 ・コンパクト設計 ・試作から量産まで幅広く対応可能-
シリーズ
SiC用高温イオン注入装置 IH-860DSIC
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取扱企業
アルバック販売株式会社
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カテゴリ
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SiC用高温イオン注入装置 IH-860DSIC 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) |
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IH-860DSIC |
要見積もり |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
