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シリーズ
研究開発向け 高密度プラズマエッチング装置 NE-550EX取扱企業
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | システム構成 | 基板サイズ | 操作圧力 (Pa) | 面内・面間均一性 | 基板温度制御 |
---|---|---|---|---|---|---|---|
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NE-550EX |
要見積もり |
研究開発/プロトタイプ装置+Load Lock室 |
~150mm |
0.07~6.7 |
±3% max. |
静電チャック |
エッチング装置の中で同じ条件の製品
使用用途: 光デバイス製造
エッチング装置をフィルターから探すことができます