ナノ－マイクロマルチフォーカス開放管X線源搭載 X線検査装置 MUX‒3400/MUX‒3410-MUX‒3400

ナノ－マイクロマルチフォーカス開放管X線源搭載 X線検査装置 MUX‒3400/MUX‒3410
株式会社マーストーケンソリューション

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この製品について

プリント基板、ウエハ、システムLSIのような板状のものをCT化する傾斜CT方式を搭載  (MUX-3410) 

・自社製高分解能マルチフォーカス開放管搭載
・高い倍率での傾斜CT 撮像を実現
・1台4役豊富な計測オプション
・初心者でも簡単に扱えるユーザーインターフェースを採用
・高精度な三次元X線傾斜CT撮像を実現  (MUX-3410)  

特長・機能
■自社製高分解能マルチフォーカス開放管搭載・多段電磁レンズと高輝度フィラメントにより極小焦点と高コントラストを実現。分解能0.4μm  (JIMAチャート)  保証
・繊維質、マイクロクラック等の観察には0.4/0.6μm、CT撮像や半導体電子部品の観察には1.0/2.0μm、実装基板やBGAには3.0μmといった5段階の中からフォーカスサイズの選択が可能。

■1台4役豊富な計測オプション・CTオプション  (直交/Simple傾斜CT)  機能追加可能
・加熱装置  (リフローシミュレーション+リアルタイム動画保存)  の機能追加可能
※CTユニットと加熱装置ユニットはステージの着脱で簡易的に切り替えができます
・透過撮像の画像処理の自動化やローダーアンローダーなどカスタム対応可能

■直交型CT ユニット高分解能CT 撮像が可能。1回のCT 撮像で三方向の断面データを取得し、任意の断面を観察することが可能。

搭載可能サンプルサイズ ：20mm×20mm 150g

■加熱装置ユニット試料を加熱した際の様子をリアルタイム動画観察。ハロゲンと温風で最高400℃まで加熱可能。
0.1 ～ 5℃/ 秒までの昇温勾配設定が可能。

搭載可能サンプルサイズ ：40mm×40mm 厚さ6mm

■高精度な三次元X線傾斜CT撮像を実現  (MUX-3410)  ・回転軌道を安定させた高精度ステージと制御ソフトウェアを完備。
・大きい試料を破壊せず高倍率でCT撮像が可能

■対象分野・電子デバイス
・基板
・電池
・自動車部品

型番
この商品には2種類の型番があります

シリーズ
ナノ－マイクロマルチフォーカス開放管X線源搭載 X線検査装置 MUX‒3400/MUX‒3410

取扱企業
株式会社マーストーケンソリューション

カテゴリ

検査装置

X線検査装置

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ナノ－マイクロマルチフォーカス開放管X線源搭載 X線検査装置 MUX‒3400/MUX‒3410 品番2件

フィルター

	商品画像	品番	価格 (税抜)	X線源線源の種類とX線出力	X線源最小分解能とフォーカス切替	X線検出器	X線検出器検出器傾斜角と検出器位置(FID可変)	幾何倍率(最低-最大)	カメラ分解能(デジタルズーム未使用)	サンプルステージ試料台寸法搭載量直径400mm最大7kg 直径340ｘ340mm観察可能サイズ300mm最大7kg	サンプルステージステージ移動量 X軸±150mmY軸±200mmθ軸±360° X軸±150mmY軸±150mmθ軸-185°~420°	外形寸法と重量装置本体1594(W)ｘ1787(D)ｘ1944(H)mm本体重量2200kg 装置本体1594(W)ｘ1787(D)ｘ1944(H)mm本体重量3000kg	ユーティリティ
		MUX‒3400	要見積もり	開放管型20~130kV/10~200μA	0.4μm(JIMAチャート保証)/0.4-0.6-1.0-2.0-3.0μmの5段階	>4インチ高輝度イメージインテンシファイア+500万画素CMOSカメラ	T軸-5°~60°X線焦点よりFID300~600mm昇降可変	2.0倍ー1200倍(モニター倍率7200倍)※最低FID300mm時/最大FID600mm時	幾何倍率1200倍時0.03μm/画素(視野サイズ0.06mmｘ0.05 m m)	直径400mm最大7kg	X軸±150mmY軸±200mmθ軸±360°	装置本体1594(W)ｘ1787(D)ｘ1944(H)mm本体重量2200kg	電源：AC200V±10％50AD種設置/エアー：0.4~0.5MpaΦ6mmチューブ
		MUX‒3410	要見積もり	開放管型20~130kV/10~200μA	0.4μm(JIMAチャート保証)/0.4-0.6-1.0-2.0-3.0μmの5段階	>4インチ高輝度イメージインテンシファイア+500万画素CMOSカメラ	T軸-5°~60°X線焦点よりFID300~600mm昇降可変	2.0倍ー1200倍(モニター倍率7200倍)※最低FID300mm時/最大FID600mm時	幾何倍率1200倍時0.03μm/画素(視野サイズ0.06mmｘ0.05 m m)	直径340ｘ340mm観察可能サイズ300mm最大7kg	X軸±150mmY軸±150mmθ軸-185°~420°	装置本体1594(W)ｘ1787(D)ｘ1944(H)mm本体重量3000kg	電源：AC200V±10％50AD種設置/エアー：0.4~0.5MpaΦ6mmチューブ